वेफर बर्न इन टेस्ट हीटिंग लैंप

फैब फ्लोर पर, वेफरों को गर्म करने एवं फोटोरेजिस्ट को सुखाने की प्रक्रिया के दौरान तापमान में होने वाले परिवर्तनों के बारे में कोई चेतावनी नहीं दी...