Riscaldatore a infrarossi compatibile _con il vuoto

Sat, 06 Jun 2026 03:56:07 +0800

On line, un wafer esce dallo spin coater e il photoresist deve essere fissato—velocemente—senza punti caldi/freddi. Qualche grado di scostamento durante il soft bake o hard bake comporta solvente residuo, collasso del pattern e perdite di resa. Il riscaldatore deve garantire una temperatura ripetibile, escludere particelle e mantenere stabilità in vuoto senza disturbare la camera.

Cosa conta sotto il cofano
Abbiamo progettato un riscaldatore a infrarossi compatibile con vuoto basato su sorgenti NIR a onde corte, perché il trasferimento diretto di energia offre risposta rapida e controllo termico preciso. L’array di emettitori è configurato per garantire uniformità a livello wafer entro ±0,1°C e il controllo in closed-loop mantiene il setpoint stabile lungo tutta la curva di bake.
È compatibile con ambienti cleanroom di Classe 1–100, utilizzando materiali a basso outgassing e una finitura superficiale che azzera la generazione di particelle. In vuoto l’output resta stabile—senza archi elettrici—e il sistema è progettato per funzionare 24/7, con manutenzione programmata anziché fermi imprevisti.

Compatibile on Ultra-Performance IR Heating

Riscaldatore a infrarossi compatibile _con il vuoto