Lampada riscaldante evaporatore Evatec

Tue, 02 Jun 2026 06:02:13 +0800

Sul piano di fabbrica, la cottura del fotoresist non è solo un passaggio qualunque, ma il limite della finestra di tolleranza. Una variazione di 2°C nella soft bake o hard bake modifica il bias di CD, inclina il profilo delle pareti laterali e fa uscire il conteggio delle particelle dai limiti di specifica. La lampada di riscaldamento dell’evaporatore Evatec è progettata per mantenere stabile questo confine termico.

Aspetti tecnici rilevanti
Le lampade Evatec emettono rapidamente energia a infrarossi pulita con uniformità stretta a livello di wafer, assicurando la ripetibilità di soft bake e hard bake. Il progetto punta a una temperatura stabile: abbinata a un sensore e a un anello di controllo corrispondenti, si ottiene una precisione di ±0.1°C su tutta la zona di cottura, mantenendo il budget termico entro i limiti dello stack litografico.
Sono disponibili opzioni a onde corte e medie per adattarsi all’assorbimento nel fotoresist e nello stack sottostante, riducendo così l’oscillazione della riflettività e il ritardo termico. La costruzione è adatta a cleanroom Classe 1–100, con materiali e geometrie selezionati per minimizzare la generazione di particelle e l’outgassing. In produzione, è progettata per un funzionamento 24/7, documentata per oltre 5.000 ore con deriva di potenza mantenuta entro percentuali a cifra singola.

Evaporatore on Ultra-Performance IR Heating

Lampada riscaldante evaporatore Evatec