http://ir-heat-ultra.com/ja/tags/%E3%82%A2%E3%83%83%E3%83%97%E3%82%B0%E3%83%AC%E3%83%BC%E3%83%89/ Recent content in アップグレード on Ultra-Performance IR Heating Hugo ja Sun, 28 Jun 2026 05:31:22 +0800 http://ir-heat-ultra.com/ja/posts/clean-room-equipment-upgrades-fab/ Sun, 28 Jun 2026 05:31:22 +0800 http://ir-heat-ultra.com/ja/posts/clean-room-equipment-upgrades-fab/ <p><img src="http://ir-heat-ultra.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="クリーンルーム設備の改良を行う工場"></p> <p>ファブの現場では、フォトレジストを焼成する際に0.3℃もの温度変動があると、それは「小さなエラー」とは言えません。これは単純に歩留まりの<a href="https://goldisgood.com">低下</a>を意味します。ソフトベイクやハードベイクの温度設定によって、ウェーハ上の温度均一性が決まりますが、ウェーハ全体で温度均一性が保てないと、エッチングの選択性も不安定になります。クリーンルームの加熱システムを改良することは、見た目を良くするためではなく、プロセス制御のためです。</p> <p>私たちは、NIR駆動型の石英ヒーターを用いた閉ループ制御方式を採用し、ウェーハ全体の温度を±0.1℃以内に抑えることを目指しました。このシステムにより、ソフトベイクやハードベイクの際にも設定値を安定して維持できるため、フォトレジストの流れや残留溶剤、架橋密度も規格内に保たれます。</p>