エネルギー on Ultra-Performance IR Heating

省エネ型半導体ヒーター

Wed, 22 Jul 2026 04:37:45 +0800

スマートファブで適切な温度を実現するために
もし、インダストリー4.0対応のスマートファブを構築しているのであれば、単純に空気を加熱するという古い方法ではもはや十分ではないことがわかっているはずです。より精密な制御が必要です。そのため、私たちの多くは高効率な赤外線装置を利用しています。これにより、目的の場所だけを直接加熱できるため、部屋全体を温めるためのエネルギーの無駄遣いがありません。

データによる精密な制御

現代の設備では、単にスイッチを入れておくだけでは不十分です。熱をPLCコントローラーとリアルタイムで連携させる必要があります。
赤外線照射装置は、ほぼ瞬時に反応するため、非常に有効です。センサーが変化を検出した瞬間に出力を調整できます。これにより、昔のオーブンでよく見られるような遅延がなくなり、何よりもウェーハが壊れるのを防げます。

省エネ型ウェーハヒーター

Tue, 21 Jul 2026 09:42:49 +0800

スマートファブの温度を制御する方法

スマートファブを構築する際、従来の加熱システムではもはや十分でないことがわかるでしょう。高度な技術やデータに基づいて作業を行うためには、古い方式の装置では不十分です。適切な加熱システムが必要です。

ファブ乾燥装置のエネルギー診断

Tue, 21 Jul 2026 09:35:09 +0800

なぜ私たちが工場でIR硬化法を採用するのか
乾燥工程のエネルギー消費をチェックするとき、私が最も重視するのは「工程の速度を落とさずに、どうやって炭素排出量を減らすか」という点です。
従来の対流式オーブンは、大量の空気を加熱する巨大な装置に過ぎません。これは完全な無駄遣いです。ウェーハを加熱するためだけに空気を加熱しているのです。一方、赤外線硬化法では、部屋全体を温める代わりに、エネルギーを直接基板に照射します。
これは全く異なる種類の熱です。
私たちは短波および中波の赤外線ランプを使用し、溶剤や抵抗体の吸収帯に正確にエネルギーを当てます。空気が温まるのを待つ必要はありません。光子が即座にウェーハ表面に到達します。
そうすることで、乾燥時間は数分から数秒に短縮されます。炭素排出量も減少し、工程の速度も上がります。まさに一石二鳥です。
また、環境面でもメリットがあります。鉛フリー化の動きは、はんだだけでなく、全体的な加熱プロセスにも関係しています。対流式の場合、長時間にわたる加熱を乗り切るために、強力な化学安定剤や鉛を含むフラックスが必要になります。しかし、赤外線硬化法は違います。高速で正確に温度をコントロールできます。基板が劣化する前に、温度を急上昇させたり、再び下げたりすることができます。有毒なガスも出ず、クリーンルーム内に無駄な熱が漏れ出してHVACシステムが過度に稼働することもありません。
ただし、注意点もあります。
単純にヒーターを取り除いて赤外線ランプを設置するだけでは不十分です。赤外線は非常に高い熱密度を持っているため、コンベアの速度が少しでも変わったり、出力が高すぎたりすると、ウェーハが焼損してしまいます。これは大惨事です。
そのため、厳密なフィードバックループが必要です。温度計と電源装置はリアルタイムで連携し、温度が上昇しすぎないようにしなければなりません。
最近では、パルス式の赤外線を使うことで最良の結果が得られています。これにより、施設への定常的な熱負荷が大幅に削減されます。実際、生産性を犠牲にせずに、世界的なESG目標を達成する最も簡単な方法です。