http://ir-heat-ultra.com/ja/tags/%E3%82%A8%E3%83%90%E3%83%86%E3%83%83%E3%82%AF/ Recent content in エバテック on Ultra-Performance IR Heating Hugo ja Tue, 02 Jun 2026 06:02:13 +0800 http://ir-heat-ultra.com/ja/posts/evatec-evaporator-heating-lamp/ Tue, 02 Jun 2026 06:02:13 +0800 http://ir-heat-ultra.com/ja/posts/evatec-evaporator-heating-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-ultra.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="エバテック蒸発器加熱ランプ"></p> <p>ファブフロアにおいて、フォトレジストのベークは単なる工程の一つではなく、許容範囲の境界線に位置している。ソフトベークまたはハードベークの温度が2℃ずれると、CDバイアスが変化し、サイドウォールのプロファイルが傾き、パーティクルカウントが仕様外に逸脱する。Evatecの蒸着装置用ヒーターランプは、その熱境界を確実に維持するために設計されている。</p>