クリーン on Ultra-Performance IR Heating

クリーンルーム用オーブン・赤外線ヒーター

Sat, 25 Jul 2026 04:53:08 +0800

IR加熱と熱風加熱：どちらが実際にクリーンルームで有効なのか？半導体加工用のオーブンを選ぶとき、重要なのは「熱をどのように伝えるか」という点です。ほとんどの場合、まずは強制送風方式が採用されます。空気を加熱し、ファンで送風して、ウェハ全体に均等に熱が行き渡るようにします。しかし、IR加熱は全く異なります。空気を使わずに直接エネルギーを目的物に送り込みます。これは、夏の日に太陽光が肌に当たるのと同じです。エネルギーは直接源から目的物に届きます。

半導体クリーンルーム用トロリーヒーター

Fri, 24 Jul 2026 11:30:51 +0800

悪夢を止めよう：ヒーターが故障したときでもウェーハを清潔に保つ方法
半導体クリーンルームで働いたことがある人なら、その状況をよく知っているでしょう。赤外線ランプが壊れると、突然、ガラスの破片やタングステンフィラメントがウェーハの上に降り注ぎます。これはまさに大災害です。瞬時にウェーハが汚染され、廃棄処分になってしまいます。

クリーンルーム設備の改良を行う工場

Sun, 28 Jun 2026 05:31:22 +0800

ファブの現場では、フォトレジストを焼成する際に0.3℃もの温度変動があると、それは「小さなエラー」とは言えません。これは単純に歩留まりの低下を意味します。ソフトベイクやハードベイクの温度設定によって、ウェーハ上の温度均一性が決まりますが、ウェーハ全体で温度均一性が保てないと、エッチングの選択性も不安定になります。クリーンルームの加熱システムを改良することは、見た目を良くするためではなく、プロセス制御のためです。

私たちは、NIR駆動型の石英ヒーターを用いた閉ループ制御方式を採用し、ウェーハ全体の温度を±0.1℃以内に抑えることを目指しました。このシステムにより、ソフトベイクやハードベイクの際にも設定値を安定して維持できるため、フォトレジストの流れや残留溶剤、架橋密度も規格内に保たれます。