http://ir-heat-ultra.com/ja/tags/%E3%83%88%E3%83%AD%E3%83%AA%E3%83%BC/ Recent content in トロリー on Ultra-Performance IR Heating Hugo ja Fri, 24 Jul 2026 11:30:51 +0800 http://ir-heat-ultra.com/ja/posts/preventing-wafer-contamination-safety-design-for-clean-room-trolley-heaters/ Fri, 24 Jul 2026 11:30:51 +0800 http://ir-heat-ultra.com/ja/posts/preventing-wafer-contamination-safety-design-for-clean-room-trolley-heaters/ <p><img src="http://ir-heat-ultra.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="半導体クリーンルーム用トロリーヒーター"></p> <p>悪夢を止めよう：ヒーターが故障したときでもウェーハを清潔に保つ方法<br> 半導体クリーンルームで働いたことがある人なら、その状況をよく知っているでしょう。赤外線ランプが壊れると、突然、ガラスの破片やタングステンフィラメントがウェーハの上に降り注ぎます。これはまさに大災害です。瞬時にウェーハが汚染され、廃棄処分になってしまいます。</p>