ファブ on Ultra-Performance IR Heating

カーボンファイバー赤外線ランプ工場

Tue, 28 Jul 2026 05:10:14 +0800

なぜカーボンファイバーIRがスマートファブの鍵となるのか
新しいスマートファブを構築する際、おそらく皆さんもご存知の通り、すべての要素を迅速かつ正確に接続する必要があります。しかし、多くの人が直面する問題があります。それが加熱です。

持続可能な製造ソリューション

Sat, 25 Jul 2026 04:45:58 +0800

なぜ、すべてのランプチューブに対してストレステストを行うのか？

私たちは「抽出検査」は行いません。工場を出るすべてのランプチューブは、耐電圧試験や絶縁抵抗試験を受けます。その理由はこうです。製造現場では、わずかな電気漏れでも大問題です。フューズが切れるだけでなく、大量のウェーハが破壊され、生産が停止してしまいます。それは、余計なコストとストレスを意味します。

認定インフラレッド硬化ランプ製造業者

Fri, 24 Jul 2026 11:52:18 +0800

クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つ方法
クラス100の環境では、失敗の代償は非常に大きい。わずかな皮膚の破片やほこりの粒子だけで、ウェハーが台無しになったり、高精度なレンズが使えなくなったりしてしまう。

ファブ乾燥装置のエネルギー診断

Tue, 21 Jul 2026 09:35:09 +0800

なぜ私たちが工場でIR硬化法を採用するのか
乾燥工程のエネルギー消費をチェックするとき、私が最も重視するのは「工程の速度を落とさずに、どうやって炭素排出量を減らすか」という点です。
従来の対流式オーブンは、大量の空気を加熱する巨大な装置に過ぎません。これは完全な無駄遣いです。ウェーハを加熱するためだけに空気を加熱しているのです。一方、赤外線硬化法では、部屋全体を温める代わりに、エネルギーを直接基板に照射します。
これは全く異なる種類の熱です。
私たちは短波および中波の赤外線ランプを使用し、溶剤や抵抗体の吸収帯に正確にエネルギーを当てます。空気が温まるのを待つ必要はありません。光子が即座にウェーハ表面に到達します。
そうすることで、乾燥時間は数分から数秒に短縮されます。炭素排出量も減少し、工程の速度も上がります。まさに一石二鳥です。
また、環境面でもメリットがあります。鉛フリー化の動きは、はんだだけでなく、全体的な加熱プロセスにも関係しています。対流式の場合、長時間にわたる加熱を乗り切るために、強力な化学安定剤や鉛を含むフラックスが必要になります。しかし、赤外線硬化法は違います。高速で正確に温度をコントロールできます。基板が劣化する前に、温度を急上昇させたり、再び下げたりすることができます。有毒なガスも出ず、クリーンルーム内に無駄な熱が漏れ出してHVACシステムが過度に稼働することもありません。
ただし、注意点もあります。
単純にヒーターを取り除いて赤外線ランプを設置するだけでは不十分です。赤外線は非常に高い熱密度を持っているため、コンベアの速度が少しでも変わったり、出力が高すぎたりすると、ウェーハが焼損してしまいます。これは大惨事です。
そのため、厳密なフィードバックループが必要です。温度計と電源装置はリアルタイムで連携し、温度が上昇しすぎないようにしなければなりません。
最近では、パルス式の赤外線を使うことで最良の結果が得られています。これにより、施設への定常的な熱負荷が大幅に削減されます。実際、生産性を犠牲にせずに、世界的なESG目標を達成する最も簡単な方法です。

ステンレス鋼製ヒーターハウジング製造

Sun, 19 Jul 2026 15:31:19 +0800

半導体製造における炭素排出量の削減：重要なのは熱がどこに行くかということです。
半導体工場では、精度が何よりも重要です。しかし、長年にわたり、私たちは従来の抵抗式ヒーターを使ってきました。これらはまるで巨大なエアヒーターのようで、ウェハを温める役割は果たしますが、同時に機械全体を温めるために多くのエネルギーが無駄に消費されてしまいます。

ファブレーションランプ用クォーツガラスシールド

Wed, 15 Jul 2026 09:53:52 +0800

可燃性化学物質の近くでIRランプを安全に使用するために
正直に言って、化学洗浄エリアでIRランプを使うのは少し心配です。そこでは不安定な蒸気が存在しており、わずかな火花やチューブの小さな亀裂でも、単なる技術的な故障ではなく、大災害を引き起こす可能性があります。

クリーンルーム設備の改良を行う工場

Sun, 28 Jun 2026 05:31:22 +0800

ファブの現場では、フォトレジストを焼成する際に0.3℃もの温度変動があると、それは「小さなエラー」とは言えません。これは単純に歩留まりの低下を意味します。ソフトベイクやハードベイクの温度設定によって、ウェーハ上の温度均一性が決まりますが、ウェーハ全体で温度均一性が保てないと、エッチングの選択性も不安定になります。クリーンルームの加熱システムを改良することは、見た目を良くするためではなく、プロセス制御のためです。

私たちは、NIR駆動型の石英ヒーターを用いた閉ループ制御方式を採用し、ウェーハ全体の温度を±0.1℃以内に抑えることを目指しました。このシステムにより、ソフトベイクやハードベイクの際にも設定値を安定して維持できるため、フォトレジストの流れや残留溶剤、架橋密度も規格内に保たれます。

高温用テープ製造工場

Thu, 18 Jun 2026 04:15:16 +0800

ファブ内では、温度の変動は単なる校正上の問題にとどまりません。それによってウェーハが破棄されてしまいます。フォトレジストを加熱する際に1℃の変動があるだけで、CD値が変わってしまい、また不均一な乾燥によって水痕が残り、結果として歩留まりが低下します。特に高温環境下では、一定で再現性の高い温度管理が必要です。