http://ir-heat-ultra.com/ja/tags/%E4%BA%92%E6%8F%9B%E6%80%A7%E3%81%8C%E3%81%82%E3%82%8B/ Recent content in 互換性がある on Ultra-Performance IR Heating Hugo ja Sat, 06 Jun 2026 03:56:08 +0800 http://ir-heat-ultra.com/ja/posts/vacuum-compatible-infrared-heater/ Sat, 06 Jun 2026 03:56:08 +0800 http://ir-heat-ultra.com/ja/posts/vacuum-compatible-infrared-heater/ <p><img src="http://ir-heat-ultra.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="真空対応赤外線ヒーター"></p> <p>ライン上で、ウェーハがスピンコーターから取り出され、フォトレジストを迅速に均一にセットする必要がある。ソフトベイクやハードベイク時に数度の温度誤差があれば、残留溶剤やパターン崩壊、歩留まり低下といった問題に直面することになる。ヒーターは再現性のある温度を提供し、パーティクルを排除し、真空中でもチャンバーに影響を与えず安定して動作しなければならない。</p>