http://ir-heat-ultra.com/ja/tags/%E6%B8%A9%E5%BA%A6/ Recent content in 温度 on Ultra-Performance IR Heating Hugo ja Mon, 20 Jul 2026 11:31:41 +0800 http://ir-heat-ultra.com/ja/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ Mon, 20 Jul 2026 11:31:41 +0800 http://ir-heat-ultra.com/ja/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ <p><img src="http://ir-heat-ultra.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="ウェーハツール用温度センサー"></p> <h1 id="シャードの発生を防ぐランプが故障した時でもウェーハを安全に守る方法">シャードの発生を防ぐ：ランプが故障した時でもウェーハを安全に守る<a href="https://o-yate.com">方法</a></h1> <p>大量生産を行う工場では、ランプが故障することは大きな問題です。停止時間だけでなく、部品が散乱してしまうことも問題です。もし赤外線ランプがウェーハの真上で爆発すれば、至る所にガラスの破片や化学物質が散乱し、その結果、ウェーハが台無しになってしまいます。</p> http://ir-heat-ultra.com/ja/posts/high-temperature-thermal-tape-fab/ Thu, 18 Jun 2026 04:15:16 +0800 http://ir-heat-ultra.com/ja/posts/high-temperature-thermal-tape-fab/ <p><img src="http://ir-heat-ultra.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="高温用テープ製造工場"></p> <p>ファブ内では、温度の変動は単なる校正上の問題にとどまりません。それによってウェーハが破棄されてしまいます。フォトレジストを加熱する際に1℃の変動があるだけで、CD値が変わってしまい、また不均一な乾燥によって水痕が残り、結果として歩留まりが低下します。特に<a href="https://goldisgood.com">高温環境下</a>では、一定で再現性の高い温度管理が必要です。</p>