http://ir-heat-ultra.com/ja/tags/%E6%B8%AC%E5%AE%9A/ Recent content in 測定 on Ultra-Performance IR Heating Hugo ja Thu, 04 Jun 2026 03:29:57 +0800 http://ir-heat-ultra.com/ja/posts/wafer-surface-tension-measurement-heater/ Thu, 04 Jun 2026 03:29:57 +0800 http://ir-heat-ultra.com/ja/posts/wafer-surface-tension-measurement-heater/ <p><img src="http://ir-heat-ultra.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="ウエハ表面張力測定ヒーター"></p> <h1 id="ファブフロアでは物事がどれほど迅速に悪化するかを知っていますフォトレジストのソフトベイクで1cのドリフトがあればcdが動いてしまいます非均一な乾燥それが原因で歩留まりを損なう水跡が生じます私たちはこれらの損失を発生源で止めるためにウエハー表面張力測定ヒーターを開発しました">ファブフロアでは、物事がどれほど迅速に悪化するかを知っています。フォトレジストのソフトベイクで1°Cのドリフトがあれば、CDが動いてしまいます。非均一な乾燥？それが原因で、歩留まりを損なう水跡が生じます。私たちは、これらの損失を発生源で止めるために、ウエハー表面張力測定ヒーターを開発しました。</h1> <p><strong>技術的に重要なこと</strong> 私たちは、ウエハーとフォトレジストに直接影響を与える迅速で非接触の熱伝達のために短波赤外線を使用しています。ウエハー全体の均一性は±0.1°C以内に保たれ、設定値の再現性は±0.2°Cで維持されます。応答時間は2秒未満で、レシピに沿ってクリーンにランプが追従します—オーバーシュートはありません。クラス1〜100のクリーンルームで稼働し、低アウトガス材料とウエハー上の粒子を防ぐ設計が施されています。粒子の生成は≤0.01粒子/cm²で確認されています。現場では、計画外のダウンタイムゼロで24時間365日稼働し、ソフトベイク、ハードベイク、硬化の各工程で厳密な制御を維持します。</p>