http://ir-heat-ultra.com/ja/tags/mems-%E3%83%9E%E3%82%A4%E3%82%AF%E3%83%AD%E9%9B%BB%E6%B0%97%E6%A9%9F%E6%A2%B0%E3%82%B7%E3%82%B9%E3%83%86%E3%83%A0/ Recent content in MEMS マイクロ電気機械システム on Ultra-Performance IR Heating Hugo ja Mon, 08 Jun 2026 05:03:16 +0800 http://ir-heat-ultra.com/ja/posts/mems-wafer-drying-heater/ Mon, 08 Jun 2026 05:03:16 +0800 http://ir-heat-ultra.com/ja/posts/mems-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://ir-heat-ultra.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="MEMSウェーハ乾燥ヒーター"></p> <p>製造現場では、ウェハーが最終すすぎから出てきて、そこから時計が動き始める。乾燥ヒーターが追いつかなければ、フォトレジストの下に水分が閉じ込められ、それが数<a href="https://o-yate.net">時間</a>後にリソグラフィの欠陥として現れる。われわれは、安定した熱をサイクルごとに途切れなく供給することで、このリスクを根本から排除するためにMEMSウェハー乾燥ヒーターを設計した。</p> <h2 id="重要なポイント">重要なポイント</h2> <p>水や一般的な溶剤の吸収特性に合わせて調整された短波赤外線エミッターを使用し、<a href="https://goldisgood.com">表面</a>を迅速かつ直接的に加熱している。ウェハー<a href="https://o-yate.com">全体</a>の温度均一性は±0.1°C以内に維持され、ソフトベークとハードベーク時のフォトレジスト寸法制御を保護する。ヒーター本体はクォーツとステンレス製で、クリーンルームClass 1–100の運用に対応し、粒子発生をゼロに設計している。<br> 重要なのは管理された再現性である。設定温度は一定に保たれ、立ち上がりと降下は繰り返し同じ挙動を示し、バッチごとの熱予算も仕様内で維持される。</p>