http://ir-heat-ultra.com/ko/tags/%EC%97%85%EA%B7%B8%EB%A0%88%EC%9D%B4%EB%93%9C/ Recent content in 업그레이드 on Ultra-Performance IR Heating Hugo ko Sun, 28 Jun 2026 05:31:23 +0800 http://ir-heat-ultra.com/ko/posts/clean-room-equipment-upgrades-fab/ Sun, 28 Jun 2026 05:31:23 +0800 http://ir-heat-ultra.com/ko/posts/clean-room-equipment-upgrades-fab/ <p><img src="http://ir-heat-ultra.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="클린룸 장비 업그레이드를 위한 공장"></p> <p>팹 내에서는, 포토레지스트를 굽는 과정에서 0.3°C라는 미세한 온도 변화도 결코 “작은 오차”가 아닙니다. 이는 바로 생산 효율 저하의 원인이 됩니다. 소프트 베이크와 하드 베이크의 온도 설정은 웨이퍼의 치수 안정성을 결정하는 핵심 요소입니다. 웨이퍼 전체에 걸쳐 열적 균일성이 떨어지면 에칭의 선택성도 저하됩니다. 클린룸의 난방 시스템을 업그레이드하는 것은 단순히 외관상의 문제를 해결하는 것이 아니라, 공정 제어를 위한 필수적인 조치입니다.</p>