서문 이런 상황을 생각해보세요: 고부하가 걸리는 진공 챔버를 운용 중에, 그 안에 있는 작은 가열 램프가 고장 나버립니다. 그러면 전체 작업이 멈춰버립니다. 더욱 심각한 것은, 값비싼 웨이퍼들이 오염될 수 있다는 점입니다. 바로 이런 문제를 해결하기 위해 우리는 진공...

On the line, a wafer comes off the spin coater and the photoresist needs to be set—fast—without any hot/cold spots. A couple degrees off during soft...