http://ir-heat-ultra.com/ko/tags/mems/ Recent content in MEMS on Ultra-Performance IR Heating Hugo ko Mon, 27 Jul 2026 06:17:47 +0800 http://ir-heat-ultra.com/ko/posts/reducing-carbon-footprint-in-mems-wafer-drying-via-infrared-heating-systems/ Mon, 27 Jul 2026 06:17:47 +0800 http://ir-heat-ultra.com/ko/posts/reducing-carbon-footprint-in-mems-wafer-drying-via-infrared-heating-systems/ <p><img src="http://ir-heat-ultra.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터"></p> <p>MEMS 웨이퍼를 더 효과적으로 건조시키는 방법<br> 솔직히 말해서, MEMS 센서 웨이퍼를 건조시키는 것은 꽤 까다로운 작업입니다. 수분을 제거해야 하지만, 어떠한 잔여물도 남겨서는 안 되며, 엄청난 온도 변화로 인해 웨이퍼가 손상되어서도 안 됩니다. 오랫동안 우리는 그냥 대류 오븐을 사용해왔지만, 훨씬 더 효율적인 방법이 있습니다.</p> http://ir-heat-ultra.com/ko/posts/mems-wafer-drying-heater/ Mon, 08 Jun 2026 05:03:16 +0800 http://ir-heat-ultra.com/ko/posts/mems-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://ir-heat-ultra.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="MEMS 웨이퍼 건조 히터"></p> <p>반도체 제조 현장에서, 웨이퍼가 최종 린스 과정을 거쳐 나오면 동시에 시간이 시작된다. 건조 히터가 요구 속도를 맞추지 못하면 포토레지스트 아래에 수분이 갇히게 되고, 이는 수시간 후 리소그래피 공정에서 결함으로 나타난다. 당사의 MEMS 웨이퍼 건조 히터는 이러한 위험을 근본적으로 제거하도록 설계되었다. 사이클마다 안정적인 열을 제공하며, 중단 없이 작동한다.</p>