Di bilik pengeluaran, perubahan suhu semasa proses pembakaran sebanyak 0.5°C sudah cukup untuk mengubah dimensi kritikal komponen tersebut sebanyak beberapa nanometer, sehingga menyebabkan hasil pengeluaran tidak memenuhi spesifikasi yang ditetapkan. Proses pembakaran jenis “soft bake” dan “hard bake” bukan sekadar langkah pemanasan biasa; ia sebenarnya menentukan parameter termal bagi keseluruhan proses litografi.
Apa yang penting dalam proses ini
Kami menggunakan lampu inframerah yang dilapisi emas, yang mengeluarkan cahaya inframerah berwarna monokromatik. Cahaya ini digunakan untuk memanaskan wafer secara langsung, tanpa memberi tekanan yang berlebihan pada substratnya. Lapisan emas ini memastikan reflektiviti spektrum yang tinggi serta emisiviti yang stabil sepanjang julat operasi, sehingga kestabilan suhu wafer dapat dikekalkan dalam lingkungan ±0.1°C.
Kami menyesuaikan geometri filamen dan respons termal lampu tersebut agar ia dapat mencapai suhu yang ditetapkan dalam masa beberapa saat, sambil memastikan kestabilan suhu yang tinggi. Profil suhu yang dihasilkan adalah tetap, dan ia bergantung pada arahan yang ditetapkan, bukan pada keadaan persekitaran pada hari tersebut.
Mengapa ia berfungsi dengan baik dalam proses pengeluaran
Dalam bilik bersih kelas 1–100, kehadiran zarah-zarah kecil boleh merosakkan proses pengeluaran. Lapisan emas dan struktur lampu yang tertutup ini membantu mengawal pelepasan gas dan pengelupasan lapisan permukaan lampu, sekaligus memastikan operasi yang bebas daripada zarah-zarah kecil.
Proses pemanasan yang cepat memendekkan masa yang diperlukan untuk menyelesaikan satu siklus pengeluaran. Kawalan suhu yang stabil pula membantu mengurangkan kesan negatif akibat perubahan suhu yang drastik. Dengan cara ini, kita dapat memperoleh ketebalan garisan yang konsisten, mengurangkan jumlah bahan yang perlu dibuang semula, serta mengurangkan penggunaan tenaga yang tidak perlu. Kami telah melihat unit-unit ini beroperasi selama lebih dari 5,000 jam dengan penurunan prestasi kurang dari 5% – ini bermakna penggantian lampu menjadi jarang diperlukan, dan masa henti yang tidak dirancang juga berkurangan.
Apa yang perlu diperhatikan semasa pemasangan
Lampu-lampu ini merupakan alternatif yang sesuai dengan standard peralatan semikonduktor antarabangsa. Namun, toleransi integrasi masih perlu diberi perhatian. Pastikan jarak pemasangan lampu sesuai, kompatibiliti dengan sistem bekalan kuasa, serta kawalan kabel yang betul.
Untuk mendapatkan hasil yang lebih baik, pastikan lampu tersebut disesuaikan dengan struktur reflektor yang sesuai, dan pastikan titik maklum balas suhu selaras dengan sensor yang digunakan dalam proses pengeluaran. Selain itu, pastikan proses penyejukan berlangsung dengan terkawal, agar lapisan emas dapat dilindungi dan kestabilan jangka panjang dapat dikekalkan.