Op de productieafdeling kan één enkele watervlek na het reinigen al ervoor zorgen dat een hele lading producten onbruikbaar wordt. Conventioneel drogen veroorzaakt thermische verschillen over het oppervlak van de chip. Deze verschillen leiden tot ongelijkmatigheden in de dikte van de fotoresist na het drogen. We hebben infraroodverwarmingselementen ontworpen om deze ongelijkheden te voorkomen.
Wat technisch gezien belangrijk is: We gebruiken kortegolflange infraroodemitters met kwartscomponenten die snel reageren. Hierdoor is de warmtetoevoer over het oppervlak van de chip gelijkmatig, zelfs op een submillimeterniveau. Dit zorgt voor een temperatuurregulatie van ±0,1°C en herhaalbaarheid die geldt voor alle batches en productieprocessen.
De uitgangstemperatuur blijft stabiel tussen 100°C en 300°C, dankzij een nauwkeurige closed-loopregeling. Hierdoor blijven de parameters van het droogproces precies zoals beschreven in het recept. De verwarmers zijn geschikt voor zuivere omgevingen van klasse 1–100: ze gebruiken materialen die weinig gassen afgeven, er worden geen deeltjes gegenereerd, en de oppervlakken kunnen gemakkelijk worden gereinigd zonder dat de ruimte wordt besmet.
Waarom het in de praktijk werkt: Bij het drogen van chips en het verwerken van fotoresist is thermische gelijkmatigheid cruciaal voor de kwaliteit van het product. Door geschikte thermische profielen te gebruiken, kunnen oneffenheden worden verminderd en kan de kwaliteit van het product verbeteren.
Een snelle opwarmtijd verkort de tijd die nodig is voor het proces, zonder dat de thermische balans wordt verstoord. De stabiele instellingen zorgen voor minder herwerk. Er wordt minder energie verbruikt, omdat de emitters alleen het gewenste gebied verwarmen, niet het hele apparaat. De betrouwbaarheid wordt bevorderd doordat de apparaten 24/7 kunnen draaien, met regelmatige onderhoudsintervallen en zonder ongeplande stilstand.
Praktische details: Bij de installatie moet goed worden gelet op de optische alignering en op de emissiviteit van de drager en de chip. Als de oppervlakken niet goed op elkaar aansluiten, zal de temperatuurverdeling incorrect zijn.
Het systeem heeft schone, droge lucht en een stabiele stroomvoorziening nodig om de controleprocessen te kunnen garanderen. Plan een korte testperiode in om de PID-instellingen af te stemmen en om de hete zones aan te passen aan de afmetingen en het proces van de chip.
Zodra alles is ingesteld, werkt de verwarmer nauwelijks nog afwijkend. Toch is het belangrijk om na elke wijziging nogmaals te controleren – dit is immers standaard procedure.