Reflector voor wafer curinglamp

Tue, 14 Jul 2026 10:46:05 +0800

Stop de vervuiling van de wafers alvast, voordat het zover komt: een slimmere manier om te werken met droogingslampen
Laten we eerlijk zijn: wanneer een kwartsbuis tijdens het verwerken van wafers barst, is dat een nachtmerrie. Het gaat niet alleen om wat stilstand, maar ook om glasscherven en halogengas die over de siliciumoppervlakken terechtkomen. Het is een rommeltje, het kost veel geld en het veroorzaakt veel problemen.
We hebben een oplossing gevonden om dit te voorkomen, door de constructie van de lamp opnieuw te ontwerpen. We hebben namelijk een fysieke bescherming en een hoogreflecterend omhulsel in het ontwerp opgenomen.
Het geheim zit in de bescherming.
De meeste mensen denken dat reflectoren alleen dienen om infraroodstraling terug te kaatsen naar de wafer. Dat klopt inderdaad, maar wij gebruiken goudbeslagen of hoogzuiver aluminium om het omhulsel in een soort ‘container’ te veranderen.
Als de buis breekt of onder druk uitbrandt, vangt de reflector de brokstukken op. Hierdoor blijven de deeltjes bij de wafer en valt er geen vuil op de wafer terecht. Het is een eenvoudige oplossing, maar het beschermt je tegen een grote ramp.
Meer hitte, met minder stress.
We hebben deze reflectoren zo aangepast dat ze de hitte precies waar nodig heen sturen. Door het straalveld te vernauwen, krijg je een hogere hitte concentratie, zonder dat je de spanning hoeft op te voeren.
Het beste van alles? De wanden van de buis worden minder belast, waardoor de filamenten langer meegaan.
Eén ding om in gedachten te houden: het buitenste omhulsel wordt erg heet. Als de luchtcirculatie wordt geblokkeerd, kunnen de hitte en de brokstukken na verloop van tijd schade toebrengen aan de bevestigingspunten. Houd dus goed in de gaten hoe de ventilatie werkt.
Gemaakt voor een schone omgeving.
Niemand vindt het leuk om stof uit kleine hoekjes te vegen. Daarom hebben we de reflector zo ontworpen dat het een gladde, gebogen oppervlakte heeft. Er zijn geen plekken waar vuil zich kan verstoppen. Het is gemakkelijk om het schoon te maken, en je hoeft je geen zorgen te maken over gekarboniseerde deeltjes die tijdens het productieproces loskomen.
Wanneer je ze in je productielijn installeert, zorg er dan voor dat ze binnen 0,5 mm van elkaar zijn geplaatst. Anders ontstaan er hete plekken op de wafer, waardoor de droging oneffen wordt.
Als je de positie van de reflectoren goed regelt, kun je een potentiële ramp omzetten in een simpele onderhoudsactie.

Genazen on Ultra-Performance IR Heating

Reflector voor wafer curinglamp