Fabriek voor hoge temperatuurthermische tape

Thu, 18 Jun 2026 04:15:16 +0800

Op de productielijn is temperatuurschommeling geen probleem dat alleen maar invloed heeft op de kalibratie. Het kan zelfs leiden tot beschadigde wafers. Een verschil van 1°C tijdens het bakken van de fotoresist zorgt voor afwijkingen in de vorm van de wafers. Ongelijkmatig drogen veroorzaakt ook problemen, waardoor de kwaliteit van de producten achteruit gaat. Er is dus behoefte aan een constante temperatuur – stabiel en herhaalbaar, shift na shift – vooral op hoge temperaturen.

Wat technisch gezien belangrijk is
Onze hitteverwarmers voor hoge temperaturen zorgen ervoor dat de temperatuur op het niveau van de wafers rond de ±0,1°C blijft. De nauwkeurigheid is zo hoog dat dit de procesparameters kan worden bepaald. Het kwarts- en kortegolfröntdesign zorgt ervoor dat de temperatuur snel wordt bereikt en stabiel blijft. Hierdoor wordt ook de vorming van deeltjes tot een minimum beperkt. De warmers zijn compatibel met cleanrooms van klasse 1–100. Ze maken gebruik van materialen met weinig uitstoot en hebben afgesloten verbindingen om de omgeving te beschermen. De warmers hebben al meer dan 5.000 uur gewerkt, met een temperatuurschommeling van minder dan 5%. Dit betekent dat de warmers betrouwbaar kunnen worden gebruikt.

Thermisch on Ultra-Performance IR Heating

Fabriek voor hoge temperatuurthermische tape