Evatec verdamper verwarmingslamp

Tue, 02 Jun 2026 06:02:13 +0800

Op de productievloer is het bakken van photoresist niet zomaar een stap—het is de grens van het tolerantieraamwerk. Een afwijking van 2°C in soft bake of hard bake verschuift de CD-bias, kantelt het zijwandprofiel en zorgt ervoor dat het aantal deeltjes buiten specificatie valt. De Evatec evaporator verwarmingslamp is ontworpen om die thermische grens nauwkeurig te behouden.

Wat technisch van belang is
De lampen van Evatec leveren snel en schoon infraroodenergie met een strakke uniformiteit op wafer-niveau, waardoor soft bake en hard bake reproduceerbaar blijven. Het ontwerp draait om een stabiele temperatuur—gecombineerd met een bijpassende sensor en regelkring, ligt de temperatuur binnen ±0,1°C over de bakzone, wat het thermisch budget binnen de lithografiestacklimieten houdt.
Er zijn opties voor kortgolvige en middengolvinge straling om de absorptie in de photoresist en de onderliggende stack af te stemmen, wat reflectiviteitsvariaties en thermische vertraging vermindert. De constructie is geschikt voor cleanroom Class 1–100, met materialen en geometrie gekozen om deeltjesvorming en uitgassing te minimaliseren. In productie is het systeem ontworpen voor 24/7 gebruik en gedocumenteerd om meer dan 5.000 uur te draaien met een outputdrift binnen enkele procenten.

Verdamper on Ultra-Performance IR Heating

Evatec verdamper verwarmingslamp