Secagem de wafers sem desperdícios
Sejamos honestos: os fornos de convecção tradicionais são um verdadeiro pesadelo para as fábricas de semicondutores modernas. Eles são volumosos, consomem muita energia e não se encaixam nos padrões ecológicos atuais.
Por isso, optamos por usar lâmpadas infravermelhas à prova d’água para a etapa de enxágue. Em vez de tentar aquecer uma grande quantidade de ar – o que é, basicamente, um desperdício de eletricidade – essas lâmpadas focam diretamente no líquido. É uma maneira muito mais eficiente de trabalhar.
Como funciona na prática
Pense assim: o ar quente é lento. Já a radiação infravermelha é diferente. Ela utiliza ondas eletromagnéticas que penetram diretamente no líquido que está em contato com o wafer, fazendo com que as moléculas de água vibrem e desapareçam quase instantaneamente.
Como essas lâmpadas operam em ambientes com alta umidade, não podemos usar qualquer tipo de lâmpada comum. Usamos invólucros de quartzo selados e terminações resistentes à umidade. Caso contrário, os filamentos se oxidariam e queimariam em poucos dias. Ninguém quer trocar as lâmpadas toda semana.
Protegendo o planeta
A maioria dos sistemas de secagem tradicionais depende de combustíveis fósseis ou sistemas de ventilação complexos que consomem muita energia. As lâmpadas infravermelhas funcionam com eletricidade. Se você estiver conectado a uma rede de energia renovável, sua pegada de carbono praticamente desaparece.
Além disso, não há vapores de compostos orgânicos voláteis ou solventes químicos presentes no ambiente. É simplesmente energia limpa fazendo o trabalho sujo.
O desafio
Mas não é tudo tão simples assim. As lâmpadas de alta intensidade são ótimas para acelerar o processo de secagem, mas seu calor é intenso. Se a lâmpada estiver muito perto do wafer, pode haver estresse térmico no substrato. É preciso ajustar corretamente a distância entre a lâmpada e o wafer. Um pouco de calibração já ajuda muito a evitar superaquecimento do silício.
Economizando espaço
O melhor de tudo? Esses sistemas ocupam pouco espaço. Você obtém a mesma eficiência de secagem de um túnel convencional, mas ocupam apenas uma fração do espaço necessário. Isso significa mais espaço livre na sala limpa e menos problemas relacionados à instalação dos sistema de enxágue. É uma solução simples e elétrica para um problema complicado relacionado a produtos químicos.