Lâmpada de aquecimento do evaporador Evatec

Tue, 02 Jun 2026 06:02:13 +0800

No chão de fábrica, a queima do fotoresiste não é apenas mais uma etapa—é o limite da janela de tolerância. Uma variação de 2°C na queima soft bake ou hard bake desloca o viés do CD, inclina o perfil da parede lateral e faz com que a contagem de partículas fique fora da especificação. A lâmpada de aquecimento do evaporador Evatec foi projetada para manter essa fronteira térmica controlada.

O que importa, tecnicamente
As lâmpadas Evatec geram energia infravermelha rápida e limpa com uniformidade rigorosa a nível de wafer, garantindo que os processos de soft bake e hard bake permaneçam repetíveis. O projeto foca na estabilidade térmica—combinado a um sensor pareado e um loop de controle, o sistema mantém ±0,1°C em toda a zona de queima, mantendo o orçamento térmico dentro dos limites da pilha de litografia.
Há opções de ondas curtas e médias para corresponder à absorção no fotoresiste e na pilha abaixo, reduzindo variações de refletividade e atraso térmico. O equipamento é compatível com salas limpas Classe 1–100, com materiais e geometria selecionados para minimizar geração de partículas e emissões de gases. Em produção, foi projetado para operação contínua 24/7, com documentação que comprova funcionamento superior a 5.000 horas e deriva de saída mantida dentro de dígitos únicos em percentual.

Evatec on Ultra-Performance IR Heating

Lâmpada de aquecimento do evaporador Evatec