Aquecedor para secagem de wafers de sensores MEMS

Mon, 27 Jul 2026 06:17:32 +0800

Uma maneira melhor de secar as bolachas MEMS
Sejamos honestos: secar as bolachas de sensores MEMS é uma tarefa complicada. É necessário remover toda a umidade, mas não se pode deixar nenhum resíduo para trás. Além disso, o material não deve ser submetido a flutuações extremas de temperatura. Por muito tempo, simplesmente colocávamos essas bolachas em fornos de convecção, na esperança de que tudo desse certo. Mas existe uma maneira muito mais eficiente.

Passamos a utilizar aquecimento por ondas infravermelhas de curta distância. Em vez de aquecer todo um ambiente inteiro só para secar uma pequena bolacha, o calor infravermelho atinge diretamente as moléculas de água. Isso torna o processo mais rápido e eficiente.

Aquecedor de secagem de wafer MEMS

Mon, 08 Jun 2026 05:03:16 +0800

No piso da fábrica, a pastilha sai do enxágue final — e o relógio começa a contar. Se o aquecedor de secagem não acompanha, há umidade retida sob o fotoresiste, que aparece horas depois como defeitos na litografia. Projetamos nossos aquecedores de secagem para pastilhas MEMS para eliminar esse risco na origem: calor constante, ciclo após ciclo, sem falhas.

O que importa no funcionamento interno

Operamos emissores infravermelhos de onda curta, sintonizados ao perfil de absorção da água e dos solventes comuns, para que a superfície aqueça rapidamente e de forma direta. A uniformidade de temperatura na pastilha permanece dentro de ±0,1°C, o que protege o controle da dimensão crítica do fotoresiste durante o soft bake e hard bake. O corpo do aquecedor é de quartzo e aço inox, projetado para operação em sala limpa Classe 1–100, com geração zero de partículas.

MEMS on Ultra-Performance IR Heating

Aquecedor para secagem de wafers de sensores MEMS

Aquecedor de secagem de wafer MEMS

O que importa no funcionamento interno