Aquecedor de secagem de wafer MEMS
No piso da fábrica, a pastilha sai do enxágue final — e o relógio começa a contar. Se o aquecedor de secagem não acompanha, há umidade retida sob o...
Aquecedor de medição de tensão superficial de wafer
No chão de fábrica, você sabe o quão rápido as coisas podem sair do controle. Um desvio de 1°C na pré-secagem do fotoresiste altera seus CDs. Uma...