Revestido on Ultra-Performance IR Heating

Lâmpada de tubo duplo com revestimento dourado

Mon, 27 Jul 2026 06:24:10 +0800

Pare de se preocupar com a contaminação das waferes.
Em uma fábrica de semicondutores, a falha de uma lâmpada é um verdadeiro pesadelo. Não se trata apenas do tempo de parada da máquina – também há o problema da sujeira causada pela quebra da lâmpada. Quando um tubo de quartzo se quebra durante um ciclo de alta carga, os destroços se espalham por toda parte, contaminando as waferes e prejudicando a produtividade.

Já passamos por isso. É por isso que desenvolvemos lâmpadas com dois tubos revestidos em ouro.
O segredo está no design.
A maioria das lâmpadas concentra todo o estresse em um único ponto. Nós dividimos o elemento de aquecimento entre dois tubos. Dessa forma, a carga térmica é distribuída, evitando que algum ponto específico do tubo de quartzo seja sobrecarregado.

Lâmpada infravermelha revestida com ouro para semicondutores

Sat, 20 Jun 2026 05:42:59 +0800

Na linha de produção, uma variação de 0,5°C na temperatura de cozimento já é suficiente para causar mudanças nas dimensões críticas dos componentes, fazendo com que a produtividade fique abaixo dos padrões desejados. O processo de cozimento “suave” e o processo de cozimento “rápido” não são simplesmente etapas de aquecimento; eles definem o “orçamento térmico” para todo o processo de litografia.

O que realmente importa Utilizamos lâmpadas infravermelhas revestidas com ouro, que emitem luz infravermelha quase monocromática, aquecendo a placa de silício diretamente, sem causar muito estresse ao substrato. O revestimento de ouro garante alta refletividade espectral e emissividade estável em toda a faixa de operação, mantendo assim a uniformidade da placa dentro de ±0,1°C.