На производственном полу даже единственный след воды после очистки может испортить целую партию продукции. Традиционные способы сушки создают температурные градиенты на поверхности пластины; эти градиенты приводят к неравномерности толщины фоторезиста после процедуры мягкой обработки. Мы разработали инфракрасные нагреватели для сушки пластин, чтобы устранить такую неоднородность на самом начальном этапе.
Что имеет значение с технической точки зрения
Мы используем излучатели коротких волн с быстро реагирующими кварцевыми элементами. Благодаря этому тепловой поток на поверхности пластины остается однородным даже на уровне субмиллиметров. Это обеспечивает однородность температуры на всей поверхности пластины в пределах ±0,1°C, а также стабильность параметров при работе в разных сменах и при изменении оборудования.
Температура остается стабильной в диапазоне от 100°C до 300°C благодаря точному контролю в замкнутых циклах. Это позволяет точно соблюдать параметры процедуры мягкой и жесткой обработки. Нагреватели разработаны для использования в чистых помещениях класса 1–100: материалы с низким уровнем выделения газов, отсутствие частиц, а поверхности нагревателей можно легко очистить без загрязнения всей камеры.
Почему это работает на практике
При сушке пластин и обработке фоторезиста однородность температуры имеет решающее значение для качества продукции. Согласованные температурные профили помогают избежать появления бугорков и других дефектов, улучшают контроль размеров пластины и снижают количество брака.
Быстрое нагревание сокращает время процесса без нарушения температурного баланса. Стабильная температура снижает необходимость повторных процедур. Энергопотребление снижается, так как нагреватели нагревают только целевую область, а не всю камеру. Надежность обеспечивается за счет возможности работы оборудования круглосуточно с предсказуемыми интервалами технического обслуживания и без неплановых простоев.
Вот практические детали
При установке необходимо учитывать оптическую выровненность, а также коэффициент излучаемости поверхностей нагревателей и самой пластины. Если поверхности не совпадают, температурный рельеф будет искажен.
Системе необходим чистый, сухой воздух и стабильное напряжение для правильной работы контрольных циклов. Необходимо провести краткую проверку для настройки параметров PID и определения зоны нагрева в зависимости от размеров пластины и условий обработки.
После настройки нагреватели будут работать с минимальными отклонениями. Однако после любых изменений в оборудовании необходимо снова проверить его работу — это стандартная практика в производственных условиях.