Введение Представьте себе следующую ситуацию: вы управляете вакуумной камерой с высокой нагрузкой, и одна из небольших нагревательных ламп перестает...

На линии после спин-котера подаётся пластина, и необходимо быстро зафиксировать фоторезист — без горячих и холодных зон. Отклонение температуры на...