http://ir-heat-ultra.com/ru/tags/%D0%BC%D0%B8%D0%BA%D1%80%D0%BE%D1%8D%D0%BB%D0%B5%D0%BA%D1%82%D1%80%D0%BE%D0%BC%D0%B5%D1%85%D0%B0%D0%BD%D0%B8%D1%87%D0%B5%D1%81%D0%BA%D0%B8%D0%B5-%D1%81%D0%B8%D1%81%D1%82%D0%B5%D0%BC%D1%8B-%D0%BC%D1%8D%D0%BC%D1%81/ Recent content in Микроэлектромеханические Системы (МЭМС) on Ultra-Performance IR Heating Hugo ru Mon, 08 Jun 2026 05:03:16 +0800 http://ir-heat-ultra.com/ru/posts/mems-wafer-drying-heater/ Mon, 08 Jun 2026 05:03:16 +0800 http://ir-heat-ultra.com/ru/posts/mems-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://ir-heat-ultra.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="Нагреватель для сушки кремниевой пластины MEMS"></p> <p>На производственном этаже пластина выходит из последнего ополаскивания — и начинается отсчет времени. Если сушильный нагреватель не справляется, под фоторезистом задерживается влага, которая проявляется через несколько часов в виде дефектов при литографии. Мы разработали наши нагреватели для сушки MEMS-пластин так, чтобы убрать этот риск у источника: стабильный нагрев, цикл за циклом, без сбоев.</p> <h2 id="что-важно-внутри">Что важно внутри</h2> <p>Мы используем излучатели в коротковолновом инфракрасном диапазоне, настроенные под профиль поглощения воды и распространенных растворителей, поэтому поверхность нагревается быстро и напрямую. Температурное распределение по пластине сохраняется в пределах ±0,1°C, что обеспечивает точность контроля критических размеров фоторезиста во время мягкой и жесткой термообработки. Корпус нагревателя выполнен из кварца и нержавеющей стали, предназначен для работы в чистых помещениях классов 1–100 с нулевым выделением частиц.</p>