http://ir-heat-ultra.com/ru/tags/%D1%81%D0%BE%D0%B2%D0%BC%D0%B5%D1%81%D1%82%D0%B8%D0%BC%D1%8B%D0%B9/ Recent content in Совместимый on Ultra-Performance IR Heating Hugo ru Sat, 06 Jun 2026 03:56:07 +0800 http://ir-heat-ultra.com/ru/posts/vacuum-compatible-infrared-heater/ Sat, 06 Jun 2026 03:56:07 +0800 http://ir-heat-ultra.com/ru/posts/vacuum-compatible-infrared-heater/ <p><img src="http://ir-heat-ultra.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="Совместимый с вакуумом инфракрасный обогреватель"></p> <p>На линии после спин-котера подаётся пластина, и необходимо быстро зафиксировать фоторезист — без горячих и холодных зон. Отклонение температуры на пару градусов во время мягкого или жёсткого отжигa приводит к остаткам растворителя, оседанию рисунка и снижению выхода годных изделий. Нагреватель должен обеспечивать повторяемость температуры, предотвращать попадание частиц и сохранять стабильность в вакууме без воздействия на камеру.</p> <p><strong>Что важно внутри</strong></p> <p>Мы разработали вакуум-совместимый инфракрасный нагреватель на базе источников коротковолнового ближнего ИК-диапазона, потому что прямой перенос энергии обеспечивает быстрый отклик и точный температурный контроль. Массив излучателей спроектирован так, чтобы обеспечить однородность по пластине с отклонением не более ±0,1°C, а управление по замкнутому контуру удерживает заданное значение стабильным на протяжении всего цикла отжига.</p>