ในห้องผลิต แม้ว่าอุณหภูมิในขั้นตอนการอบจะเปลี่ยนแปลงเพียง 0.5°C เท่านั้น ก็สามารถทำให้ขนาดของชิปเปลี่ยนแปลงไปได้ถึงระดับนาโนเมตร ซึ่งจะส่งผลให้คุณภาพของชิปไม่เป็นไปตามมาตรฐานที่กำหนดไว้ การอบแบบอ่อนและการอบแบบแรงนั้นไม่ใช่เพียงแค่ “ขั้นตอนการให้ความร้อน” เท่านั้น แต่ยังเป็นการกำหนดค่าอุณหภูมิที่เหมาะสมสำหรับกระบวนการผลิตโดยรวมอีกด้วย
สิ่งที่สำคัญจริงๆ เราใช้หลอดไฟอินฟราเรดที่มีการเคลือบด้วยทองคำ ซึ่งจะปล่อยแสงอินฟราเรดที่มีสเปกตรัมเดี่ยวออกมา ทำให้สามารถให้ความร้อนกับวงจรรวมได้โดยไม่ก่อให้เกิดแรงกดดันต่อวัสดุพื้นฐานมากนัก ส่วนตัวสะท้อนแสงที่ทำจากทองคำนั้นมีความสามารถในการสะท้อนแสงสูง และมีค่าการแผ่รังสีที่คงที่ตลอดช่วงการทำงาน ดังนั้นความสม่ำเสมอของอุณหภูมิบนวงจรรวมจึงอยู่ในช่วง ±0.1°C
เราปรับแต่งรูปร่างของหลอดไฟและความสามารถในการตอบสนองทางความร้อน เพื่อให้หลอดไฟสามารถถึงอุณหภูมิที่กำหนดได้อย่างรวดเร็ว และรักษาอุณหภูมินั้นไว้ได้อย่างแม่นยำ โดยโปรไฟล์อุณหภูมิจะยังคงสม่ำเสมอ ไม่ขึ้นอยู่กับสภาพแวดล้อมในห้องผลิตในแต่ละวัน
เหตุผลที่สามารถใช้งานได้อย่างมีประสิทธิภาพในการผลิต ในห้องผลิตที่มีมาตรฐาน Class 1–100 การเกิดอนุภาคต่างๆ สามารถทำลายกระบวนการผลิตได้ แต่การเคลือบด้วยทองคำและโครงสร้างที่ปิดสนิทช่วยควบคุมการปล่อยก๊าซและการสึกหรอของวัสดุได้ ทำให้สามารถผลิตชิปได้โดยมีอนุภาคน้อยมาก
การเพิ่มอุณหภูมิได้อย่างรวดเร็วช่วยลดเวลาในการผลิต และการควบคุมอุณหภูมิที่แม่นยำช่วยลดปัญหาเกี่ยวกับความแตกต่างของสารละลายที่เหลืออยู่บนวงจรรวม ดังนั้นจึงได้ชิปที่มีความกว้างของเส้นที่สม่ำเสมอ มีจำนวนชิปที่ต้องทำใหม่น้อยลง และมีการใช้พลังงานที่คาดเดาได้ มีการใช้งานหลอดไฟเหล่านี้ได้มากกว่า 5,000 ชั่วโมง โดยมีการลดลงของประสิทธิภาพการผลิตเพียง 5% เท่านั้น นอกจากนี้ยังมีการเปลี่ยนหลอดไฟน้อยลง และมีเวลาหยุดทำงานที่ไม่คาดคิดน้อยลงด้วย
สิ่งที่จำเป็นต้องตรวจสอบก่อนการติดตั้ง หลอดไฟเหล่านี้สามารถใช้แทนหลอดไฟมาตรฐานของอุปกรณ์ semiconuctor ระดับสากลได้ แต่ก็ยังมีข้อกำหนดเกี่ยวกับการติดตั้งที่ต้องคำนึงถึง ควรตรวจสอบระยะห่างในการติดตั้ง ความสามารถในการเชื่อมต่อกับแหล่งพลังงาน และสายไฟที่ใช้ในการควบคุมอุณหภูมิด้วย
เพื่อให้ได้ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิที่ดีที่สุด ควรจับคู่หลอดไฟกับตัวสะท้อนแสงให้เหมาะสม และตรวจสอบให้แน่ใจว่าจุดตรวจสอบอุณหภูมิอยู่ในตำแหน่งที่เหมาะสมกับเซ็นเซอร์ที่ใช้ในการควบคุมกระบวนการผลิต นอกจากนี้ยังควรมีการวางแผนการลดอุณหภูมิอย่างเหมาะสม เพื่อปกป้องชั้นเคลือบของหลอดไฟและรักษาความเสถียรในระยะยาว