http://ir-heat-ultra.com/th/tags/%E0%B8%9C%E0%B8%B4%E0%B8%A7%E0%B8%AB%E0%B8%99%E0%B9%89%E0%B8%B2/ Recent content in ผิวหน้า on Ultra-Performance IR Heating Hugo th Thu, 04 Jun 2026 03:29:57 +0800 http://ir-heat-ultra.com/th/posts/wafer-surface-tension-measurement-heater/ Thu, 04 Jun 2026 03:29:57 +0800 http://ir-heat-ultra.com/th/posts/wafer-surface-tension-measurement-heater/ <p><img src="http://ir-heat-ultra.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="เครื่องวัดแรงตึงผิวของแผ่นเวเฟอร์พร้อมฮีตเตอร์"></p> <p>บนชั้นผลิต คุณรู้ดีว่ากระบวนการสามารถผิดพลาดได้เร็วแค่ไหน การเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิ 1°C ในการอบ photoresist แบบ soft bake จะทำให้ขนาด CD เปลี่ยนไป การอบแห้งที่ไม่สม่ำเสมอ? นั่นคือสาเหตุของรอยน้ำที่ลดอัตราผลผลิต เราพัฒนาเครื่องวัดแรงตึงผิวของแผ่นเวเฟอร์พร้อมฮีตเตอร์เพื่อหยุดความเสียหายเหล่านี้ตั้งแต่ต้นทาง</p> <p><strong>สิ่งที่สำคัญในเชิงเทคนิค</strong><br> เราใช้คลื่นอินฟราเรดช่วงสั้น (short-wave infrared) สำหรับการถ่ายเทความร้อนแบบไม่สัมผัสอย่างรวดเร็ว โดยตรงไปยังแผ่นเวเฟอร์และ photoresist ความสม่ำเสมอทั่วแผ่นเวเฟอร์อยู่ในช่วง ±0.1°C และความแม่นยำในการทำซ้ำของจุดตั้งค่า (setpoint) อยู่ที่ ±0.2°C การตอบสนองอยู่ต่ำกว่า 2 วินาที ทำให้อัตราการเพิ่มอุณหภูมิตามสูตรควบคุมได้อย่างแม่นยำ ไม่มีการเกินค่าที่ตั้งไว้</p> <p>ระบบทำงานในห้องสะอาดระดับ Class 1–100 โดยใช้วัสดุที่ปล่อยก๊าซต่ำและออกแบบเพื่อป้องกันฝุ่นละอองตกบนแผ่นเวเฟอร์ การสร้างฝุ่นละอองเป็นศูนย์ได้รับการตรวจสอบยืนยันว่าน้อยกว่าหรือเท่ากับ 0.01 ฝุ่นละออง/cm² ในการใช้งานภาคสนาม ระบบทำงานต่อเนื่อง 24/7 โดยไม่มีเวลาหยุดทำงานโดยไม่คาดคิด และควบคุมอุณหภูมิได้อย่างแม่นยำในทุกขั้นตอนของ soft bake, hard bake และ <a href="https://goldisgood.com">curing</a></p> <p><strong>เหตุผลที่ระบบใช้งานได้จริง</strong><br> สำหรับการอบแห้งแผ่นเวเฟอร์ โปรไฟล์ NIR ช่วยขจัดขอบ bead และความต่างแรงตึงผิวบนผิวโดยไม่ทิ้งสารตกค้าง ในกระบวนการ <a href="https://o-yate.com">lithography</a> ความแม่นยำของอุณหภูมิ soft bake ช่วยรักษาความหนืดและความหนาของ photoresist ให้คงที่ ส่งผลให้การควบคุมความกว้างเส้นดีขึ้นและลดข้อบกพร่อง</p> <p>ขั้นตอน hard bake และ curing ส่งผลให้เกิดการเชื่อมโยงข้ามสายโซ่ (crosslinking) อย่างสม่ำเสมอ ลดคราบสกปรกและเพิ่มการยึดเกาะ ผลลัพธ์คืออัตราผลผลิตในรอบแรกสูงขึ้น จำนวนล็อตที่ต้องทำซ้ำลดลง และงบประมาณความร้อนที่เสถียรช่วยลดเวลารอบการผลิต นอกจากนี้การใช้พลังงานลดลงเนื่องจากฮีตเตอร์ทำงานเป็นรอบตามความต้องการ แทนที่จะต้องรักษาโซนอุณหภูมิสูงตลอดเวลา</p>