Wafer’lerinizi Temiz Tutmak: Kızılötesi Lambaların Arızalanması Hakkındaki Gerçekler
Yüksek üretim hacmine sahip tesislerde bir lambanın arızalanması sadece bir sorun değildir; bu tam anlamıyla bir felakettir. Eğer kızılötesi tüp, silikon wafer’in üzerinde patlarsa, sadece üretimin durması sorunuyla karşı karşıya kalmazsınız; aynı zamanda cam parçaları ve kimyasal maddeler de ürününüzün üzerine düşer. Bu da ikincil kirlenmelere yol açar ve bu da büyük bir felakettir. Biz de bunu önlemek için özel olarak altın yansıtıcılı kızılötesi lambalar ürettik.
Altının Neden Önemli Olduğu
Çoğu kişi alüminyum yansıtıcılar kullanır; ancak bunlar çok fazla enerji emer. Biz ise yüksek saflıkta altın kaplama tercih ettik. Bunun nedeni şudur: Altın kaplama, kızılötesi radyasyonu çok daha verimli bir şekilde ileri doğru yönlendirir. Isı yoğunluğu daha yüksek olduğundan, lambaları daha düşük iç sıcaklıkta bile çalıştırabilirsiniz ve yine aynı ısı etkisini elde edebilirsiniz. Bu durum her iki taraf için de avantajlıdır. Kuvars kabuk da baskı altında kalmaz; bu sayede yoğun kullanımda bile kırılma olasılığı çok düşük olur.
“Patlama” Durumlarını Önleme
Hızlı güç değişimlerinin oluşturduğu darbeleri önlemek için kalın duvarlı kuvars malzeme kullanıyoruz. Ancak burada durmadık. Ayrıca koruyucu bir kasa da ekledik. Bunu bir güvenlik ağı olarak düşünebilirsiniz. Eğer iç tüp arızalanırsa, bu kasa tüm enkazları tutar. Böylece wafer’lerinizde hiçbir cam parçası kalmaz.
Ayrıca uç kapaklar da önemlidir. Eğer contalar sızarsa, oksijen halojen döngüsüne sızar. Bu da “karartılmalara” ve sonunda tüpün patlamasına yol açar. Bunu önlemek için her bir contayı vakum testinden geçiriyoruz; böylece halojen gazının tam yerinde kalmasını sağlıyoruz.
Bir Uyarı
Yüksek güçlü lambalar inanılmaz derecede ısınır. Altın yansıtıcı, tüm bu ısı enerjisini küçük bir alana yoğunlaştırdığı için soğutma sistemlerine dikkat etmek gerekiyor. Eğer hava akışı yetersiz olursa, ısı soketlerde birikir ve kablolar zarar görür. Bu da ark oluşumuna yol açar ve kimse bunu istemez. Soğutmayı düzenli tutarsanız, bu lambalar uzun süre dayanacaktır.