Kabusu Durdurun: Isıtıcılar Arızalandığında Wafer’lerinizi Temiz Tutmak
Eğer daha önce bir yarı iletken temiz oda ortamında çalıştıysanız bu durumu iyi bilirsiniz. Kızılötesi lambalar patladığında, aniden cam parçaları ve tungsten tel parçaları waferlerin üzerine düşer. Bu tam anlamıyla bir felakettir; anında kirlenme ve atık oluşur.
Hepimiz böyle durumlarla karşılaştık. İşte bu yüzden, yüksek üretim koşullarında bile bu tür sorunların yaşanmaması için özel ısıtıcılar geliştirdik.
“Patlama” Durumlarıyla Başa Çıkma
Aslında, lambaların dayanması için sadece umut etmek yeterli değildir. Bu, göze alamayacağımız bir risktir. Bunun yerine, kızılötesi elemanları güçlendirilmiş kafesler veya yüksek saflıkta kuvars kılıflar içine yerleştiriyoruz. Eğer bir lamba termal şok nedeniyle kırılırsa veya sınırlarına ulaşıp yanarsa, kılıf tüm parçaları kapar. Böylece parçalar taşıma yoluna girmez ve waferleriniz temiz kalır. Böylece potansiyel bir felaket, kontrol altına alınmış küçük bir arıza haline gelir.
Kırılmamayı Sağlayan Bilim
Hızlı sıcaklık değişikliklerinde bile kırılmayan özel bir kuvars camı kullanıyoruz. Düşük termal genleşme katsayısına sahip olan bu cam, ısı arttığında veya soğutma hızlandığında kırılmaz. Ayrıca, ısıtma elemanlarının doğru şekilde yerleştirilmesine de büyük önem veriyoruz. Eğer ısıtma elemanları hafifçe yanlış yerleştirilirse, tüp duvarlarında “sıcak noktalar” oluşur. Bu da camın zayıflamasına neden olur. Wattaj yoğunluğunu dengelerek, camın zarar görmeyeceği güvenli bir bölgede kalmasını sağlıyoruz.
Şeyleri Basit Tutmak
Bir lamba sonunda bozulduğunda, vaktinizin yarısını onarımla harcamak istemezsiniz. Standart konektörler kullanarak bozulan lambayı kolayca çıkarıp yerine yeni birini takabilirsiniz. Taşıma sistemlerinin ayarlanmasıyla ilgili herhangi bir sorun olmaz. Her şey çok hızlı gerçekleşir.
Ancak bir uyarı: Yüksek güçlü lambalar çok fazla ısı yayar. Eğer bu ısı taşıma sistemlerine ulaşırsa, raylar bozulabilir. Bu durumda waferlerin yerleştirilmesi mümkün olmaz. Soğutma fanlarınızın veya ısı dağıtıcılarınızın işini yapabilecek kapasitede olduğundan emin olun. Size, cihazınıza uygun soğutma sistemi seçmeniz için gerekli tüm termal verileri sağlayacağız.