Üretim alanında, temizleme işleminden sonra kalan tek bir su izi bile tüm ürün partisini bozabilir. Geleneksel kurutma yöntemleri, yonga üzerinde termal gradientler oluşturur ve bu gradientler, yumuşak pişirme işleminden sonra fotoresistanın kalınlığındaki düzensizlikler olarak kendini gösterir. Biz ise bu tür düzensizlikleri en baştan ortadan kaldırmak için özel infraruj ısıtıcılar geliştirdik.
Teknik açıdan önemli olanlar
Hızlı tepki veren kuvars elemanlara sahip kısa dalga boylu infraruj ısıtıcılar kullanıyoruz; böylece yonga yüzeyi üzerindeki ısı akışı milimetre altı seviyesine kadar eşit oluyor. Bu sayede yonga üzerindeki sıcaklık ±0,1°C civarında sabit kalıyor ve farklı vardiyalar, ürün partileri veya ekipman değişiklikleri arasında da tutarlılık sağlanıyor.
100°C ile 300°C arasında çıkış sıcaklığı, sıkı kapalı döngü kontrolü sayesinde sabit kalır; böylece yumuşak ve sert pişirme işlemleri tam olarak belirlenen talimatlara göre gerçekleşir. Isıtıcılar, 1–100 sınıfı temiz odalar için tasarlanmıştır: Düşük gaz salınımı, hiçbir parçacık üretimi yoktur ve yüzeyler temizlendiğinde oda kirlenmez.
Peki neden bu yöntem pratikte işe yarıyor?
Yonga kurutma ve fotoresist işlemlerinde termal düzenlilik, verimlilik ile atık oranı arasındaki farkı belirler. Uygun termal profiller, kenar dalgalanmalarını ve istenmeyen dalga şekillerini azaltır, CD kontrolünü iyileştirir ve atık oranını düşürür. Hızlı ısınma süreci, termal bütçeyi bozmadan işlem süresini kısaltır. Sabit ayar noktası sayesinde tekrar işlemler gereksiz hale gelir. Enerji tüketimi de azalır, çünkü ısıtıcılar sadece hedeflenen bölgeyi ısıtır, tüm yongayı değil. Güvenilirlik ise kesintisiz çalışma süresine bağlıdır; bizim cihazlarımız 24/7 çalışır ve planlanmış bakım aralıklarıyla arızasız işler.
Pratik detaylar
Montaj sırasında optik hizalamaya ve taşıyıcı ile yonganın emisivitesine dikkat edilmelidir. Yüzeyler uyumsuz olduğunda sıcaklık haritası bozulur. Sistem, kontrol döngülerinin sağlıklı çalışması için temiz ve kuru hava sowie stabil bir voltaj kaynağına ihtiyaç duyar. PID ayarlarını yapmak ve sıcak bölgenin yonga boyutlarına ve işlem koşullarına göre ayarlanması için kısa bir test süreci planlanmalıdır. Ayarlandıktan sonra ısıtıcı minimum sapmayla çalışır. Yine de herhangi bir değişiklikten sonra tekrar kontrol edilmelidir; bu standart bir uygulamadır.