Üretim alanında, işlerin ne kadar hızlı ters gidebileceğini bilirsiniz. Fotoresist yumuşak pişirme sırasında 1°C’lik bir sapma CD’lerinizi etkiler. Eşit olmayan kurutma mı? Bu, verimi azaltan su lekelerinin oluşmasına neden olur. Wafer yüzey gerilimi ölçüm ısıtıcısını, kayıpların başladığı yerde durdurmak için tasarladık.
Teknik olarak önemli olanlar
Wafer ve fotoresisti doğrudan hedefleyen hızlı, temassız ısı transferi için kısa dalga kızılötesi kullanıyoruz. Wafer genelinde uniformite ±0.1°C içinde kalır ve setpoint tekrarlanabilirliği ±0.2°C’de tutar. Tepki süresi 2 saniyenin altındadır, bu sayede ısı artış rampası reçeteyi temiz şekilde takip eder—taşma olmaz.
Class 1–100 temiz odalarda çalışır, düşük gaz salınımı yapan malzemeler ve parçacıkların wafer yüzeyine ulaşmasını engelleyen tasarım mevcuttur. Parçacık oluşumu ≤0.01 parçacık/cm² olarak doğrulanmıştır. Sahada 7/24 kesintisiz çalışır ve soft bake, hard bake ile kürleme süreçlerinde sıkı kontrol sağlar.
Pratikte neden işe yarar
Wafer kurutma için NIR profili, kenar boncuklarını ve yüzey gerilimi gradyanlarını kalıntı bırakmadan giderir. Litografide, soft bake sıcaklık hassasiyeti fotoresist viskozitesi ve kalınlığını stabilize eder; böylece çizgi genişliği kontrolü gelişir ve hata oranı düşer.
Hard bake ve kürleme, tutarlı çapraz bağlanma sağlar, bu da kalıntıları azaltır ve yapışmayı artırır. Sonuç olarak, ilk geçiş verimi yükselir, yeniden işleme gereken partiler azalır ve döngü süresi kısalır. Enerji kullanımı da düşer çünkü ısıtıcı, büyük ve sürekli sıcak bir alanı korumak yerine talebe göre devreye girer.
Önceden bilinmesi gerekenler
Kurulum için özel 24 VDC güç kaynağı ve temiz oda standartlarına uygun kablolama gereklidir. Kullanılan hat veya kaplama makinesine bağlı olarak retrofitleme küçük mekanik boşluk ayarlamaları gerektirebilir. Reçete aktarımı basittir, ancak ısıtıcının kapalı döngü kontrolü ile korelasyon için önceden çok noktadan termokupl haritalaması planlanmalıdır. Devreye alma süresi kısadır—genellikle bir günden az—setpoint ve alarm eşik değerlerinin kilitlenmesi için.