http://ir-heat-ultra.com/uk/tags/%D0%B2%D0%B0%D1%84%D0%BB%D1%8F/ Recent content in Вафля on Ultra-Performance IR Heating Hugo uk Mon, 08 Jun 2026 05:03:16 +0800 http://ir-heat-ultra.com/uk/posts/mems-wafer-drying-heater/ Mon, 08 Jun 2026 05:03:16 +0800 http://ir-heat-ultra.com/uk/posts/mems-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://ir-heat-ultra.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="Нагрівач для сушки пластини MEMS"></p> <p>На виробничому майданчику, пластина виходить із фінального ополіскування — і відлік часу починається. Якщо нагрівач для сушіння не справляється, волога затримується під фоторезистом і через кілька годин проявляється у вигляді дефектів літографії. Наші нагрівачі для сушіння мембранних пластин MEMS створені, щоб усунути цей ризик на джерелі: стабільне нагрівання, цикл за циклом, без збоїв.</p> <h2 id="що-має-значення-всередині">Що має значення всередині</h2> <p>Ми використовуємо короткохвильові інфрачервоні випромінювачі, налаштовані на спектр поглинання води та звичайних розчинників, тому поверхня нагрівається швидко та безпосередньо. Однорідність температури по поверхні пластини підтримується у межах ±0.1°C, що забезпечує контроль критичних розмірів фоторезисту під час «soft bake» і «hard bake». Корпус нагрівача виготовлений із кварцу та нержавіючої сталі, призначений для роботи в чистих кімнатах класу 1–100 із нульовим виділенням частинок.</p> http://ir-heat-ultra.com/uk/posts/wafer-surface-tension-measurement-heater/ Thu, 04 Jun 2026 03:29:57 +0800 http://ir-heat-ultra.com/uk/posts/wafer-surface-tension-measurement-heater/ <p><img src="http://ir-heat-ultra.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="Нагрівач для вимірювання поверхневого натягу пластини"></p> <p>На виробничому майданчику ви знаєте, як швидко процес може піти не за планом. Зсув у 1°C під час софт-бейку фоторезисту призведе до зміщення CD. Нерівномірне сушіння? Саме так з’являються водяні плями, що знижують вихід продукції. Ми розробили нагрівач для вимірювання поверхневого натягу на пластинах, щоб припинити ці втрати на самому початку.</p> <p><strong>Що має значення з технічної точки зору</strong><br> Ми використовуємо короткохвильове інфрачервоне випромінювання для швидкого безконтактного теплового переносу, яке безпосередньо впливає на пластину та фоторезист. Однорідність температури по всій пластині тримається в межах ±0.1°C, а повторюваність заданої точки — ±0.2°C. Відповідь системи займає менше 2 секунд, тому нагрівання чітко слідує рецепту без перерозігріву.</p>