http://ir-heat-ultra.com/uk/tags/%D0%B5%D0%B2%D0%B0%D1%82%D0%B5%D0%BA/ Recent content in Еватек on Ultra-Performance IR Heating Hugo uk Tue, 02 Jun 2026 06:02:13 +0800 http://ir-heat-ultra.com/uk/posts/evatec-evaporator-heating-lamp/ Tue, 02 Jun 2026 06:02:13 +0800 http://ir-heat-ultra.com/uk/posts/evatec-evaporator-heating-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-ultra.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="Підігрівальна лампа випарника Evatec"></p> <p>На виробничому майданчику випікання фоторезисту — це не просто черговий етап, а межа допустимих відхилень. Зміщення на 2°C під час м’якого або твердого випікання призведе до зсуву CD-біасу, нахилу профілю бічної стінки і виведе кількість часток за межі специфікації. Нагрівальна лампа випарника <a href="https://o-yate.com">Evatec</a> створена для точного утримання цієї температурної межі.</p> <p><strong>Що має значення з технічної точки зору</strong><br> Лампи Evatec швидко і точно подають чисту інфрачервону енергію з високою однорідністю на рівні пластини, що забезпечує повторюваність м’якого та твердого випікання. Конструкція орієнтована на стабільну температуру — у парі з відповідним датчиком і контуром керування це дає ±0.1°C по всій зоні випікання, утримуючи тепловий бюджет у межах лімітів літографічного стеку.<br> Є варіанти з короткохвильовим і середньохвильовим випромінюванням для відповідності поглинанню у фоторезисті та підстильному стеку, що знижує коливання відбивної здатності та тепловий лаг. Конструкція готова до роботи в чистих кімнатах класу 1–100, матеріали та геометрія підібрані для мінімізації генерації часток і виділення газів. У виробництві лампа розрахована на безперервну роботу 24/7, документовано роботу понад 5,000 годин із відхиленням вихідної потужності в межах однозначних відсотків.</p>