http://ir-heat-ultra.com/uk/tags/%D0%BC%D0%B5%D0%BC%D1%81/ Recent content in МЕМС on Ultra-Performance IR Heating Hugo uk Mon, 27 Jul 2026 06:17:57 +0800 http://ir-heat-ultra.com/uk/posts/reducing-carbon-footprint-in-mems-wafer-drying-via-infrared-heating-systems/ Mon, 27 Jul 2026 06:17:57 +0800 http://ir-heat-ultra.com/uk/posts/reducing-carbon-footprint-in-mems-wafer-drying-via-infrared-heating-systems/ <p><img src="http://ir-heat-ultra.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="Нагрівач для сушіння пластин датчиків MEMS"></p> <p>Кращий спосіб сушіння пластин MEMS<br> Будемо чесні: сушіння пластин датчиків типу MEMS є складною процедурою. Необхідно позбутися вологи, але при цьому не можна залишати жодних залишків. Також не можна піддавати матеріал надмірним температурним перепадам. Довгий час ми просто поміщали ці пластини в конвективні печі, сподіваючись на краще. Але існує значно кращий спосіб.</p> <p>Ми перейшли на використання короткохвильового інфрачервоного опалення. Замість того, щоб нагрівати велику кімнату з повітрям лише для сушіння невеликої пластини, інфрачервоне випромінювання безпосередньо впливає на молекули води. Цей метод є більш ефективним та швидким.</p> http://ir-heat-ultra.com/uk/posts/mems-wafer-drying-heater/ Mon, 08 Jun 2026 05:03:16 +0800 http://ir-heat-ultra.com/uk/posts/mems-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://ir-heat-ultra.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="Нагрівач для сушки пластини MEMS"></p> <p>На виробничому майданчику, пластина виходить із фінального ополіскування — і відлік часу починається. Якщо нагрівач для сушіння не справляється, волога затримується під фоторезистом і через кілька годин проявляється у вигляді дефектів літографії. Наші нагрівачі для сушіння мембранних пластин MEMS створені, щоб усунути цей ризик на джерелі: стабільне нагрівання, цикл за циклом, без збоїв.</p> <h2 id="що-має-значення-всередині">Що має значення всередині</h2> <p>Ми використовуємо короткохвильові інфрачервоні випромінювачі, налаштовані на спектр поглинання води та звичайних розчинників, тому поверхня нагрівається швидко та безпосередньо. Однорідність температури по поверхні пластини підтримується у межах ±0.1°C, що забезпечує контроль критичних розмірів фоторезисту під час «soft bake» і «hard bake». Корпус нагрівача виготовлений із кварцу та нержавіючої сталі, призначений для роботи в чистих кімнатах класу 1–100 із нульовим виділенням частинок.</p>