فیکٹری میں، صفائی کے بعد باقی رہنے والا ایک ہی پانی کا نشان بھی پورے پروڈکشن لاٹ کو تباہ کر سکتا ہے۔ روایتی طریقوں سے خشک کرنے سے ویفر پر حرارتی تفاوت پیدا ہوتا ہے، اور یہ تفاوت سافٹ بیک کے بعد فوٹو ریزسٹ کی موٹائی میں عدم یکسانیت کی شکل میں ظاہر ہوتا ہے۔ ہم نے اپنے ویفر خشک کرنے والے آلات میں انفرا ریڈ ہیٹرز استعمال کئے ہیں، تاکہ اس قسم کی عدم یکسانیت کو ختم کیا جا سکے۔
تکنیکی لحاظ سے کیا اہم ہے؟
ہم تیز ردِعمل والے کوارٹز عناصر کے ساتھ شارٹ-ویو انفرا ریڈ ایمیٹرز استعمال کرتے ہیں؛ اس طرح ویفر کی سطح پر حرارت کی تقسیم یکساں رہتی ہے۔ اس سے ویفر کا درجہ حرارت ±0.1°C کے اندر یکساں رہتا ہے، اور مختلف شفٹوں، لاٹوں اور آلات کی تبدیلیوں کے باوجود بھی یہ یکسانیت برقرار رہتی ہے۔
100°C سے 300°C کے درمیان درجہ حرارت مستحکم رہتا ہے، کیوں کہ سسٹم میں سخت کنٹرول نظام موجود ہے۔ اس سے سافٹ بیک اور ہارڈ بیک کے عمل میں درستگی برقرار رہتی ہے۔ یہ ہیٹرز کلاس 1-100 کے صاف کمروں کے لئے بنائے گئے ہیں؛ یعنی ان میں کم گیسیں خارج ہوتی ہیں، کوئی ذرے پیدا نہیں ہوتے، اور سطحوں کو صاف کرنے سے کمرے میں کوئی آلودگی پیدا نہیں ہوتی۔
عملی طور پر یہ کیسے کام کرتا ہے؟
ویفر خشک کرنے اور فوٹو ریزسٹ کی پروسیسنگ میں، حرارتی یکسانیت ہی پروڈکشن کی کامیابی کا فیصلہ کرتی ہے۔ مناسب حرارتی پروفائل سے غیرضروری تغیرات ختم ہو جاتے ہیں، CD کنٹرول بہتر ہو جاتا ہے، اور فضول مواد کم ہو جاتا ہے۔
تیز رفتار حرارتی پروگرامنگ سے عمل کا وقت کم ہو جاتا ہے، اور مستحکم درجہ حرارت سے دوبارہ کام کرنے کی ضرورت کم ہو جاتی ہے۔ توانائی کی کھپت بھی کم ہو جاتی ہے، کیوں کہ ایمیٹر صرف مطلوبہ حصے کو ہی گرم کرتے ہیں، پورے ویفر کو نہیں۔ قابل اعتمادی کا راز یہ ہے کہ یہ آلات 24/7 کام کرتے رہتے ہیں، اور ان کی دیکھ بھال کے وقفے بھی معلوم ہوتے ہیں، لہذا کوئی غیرمتوقع تعطل نہیں ہوتا۔
عملی تفصیلات:
انسٹالیشن کے دوران آپٹیکل الائنمنٹ اور کیریئر/ویفر کی ایمیسیویٹی پر خصوصی توجہ دینی ضروری ہے۔ اگر سطحیں میل نہ کھاتی ہوں، تو درجہ حرارت کا نقشہ غلط ہو جاتا ہے۔
سسٹم کے لئے صاف، خشک ہوا اور مستحکم وولٹیج کی ضرورت ہے، تاکہ کنٹرول لوپس درست رہیں۔ PID کو ایڈجسٹ کرنے اور ہاٹ زون کو ویفر کے سائز اور پروسیس کے مطابق ترتیب دینے کے لئے ایک مختصر ٹیسٹنگ سیشن ضروری ہے۔
جب سسٹم تیار ہو جاتا ہے، تو ہیٹر بہت کم تغیرات کے ساتھ کام کرتا رہتا ہے۔ پھر بھی، کمرے کی تبدیلی کے بعد دوبارہ چیک کرنا ضروری ہے؛ یہ تو عام پریکٹس ہی ہے۔