Trên sàn sản xuất, wafer được lấy ra khỏi bước rửa cuối cùng — và đồng hồ bắt đầu chạy. Nếu bộ gia nhiệt sấy không kịp, sẽ có hơi ẩm bị kẹt dưới lớp...

Trên sàn sản xuất, bạn biết mọi việc có thể đi sai hướng nhanh thế nào. Chênh lệch 1°C trong quá trình soft bake photoresist sẽ làm thay đổi kích...