http://ir-heat-ultra.com/zh/tags/%E5%85%BC%E5%AE%B9/ Recent content in 兼容 on Ultra-Performance IR Heating Hugo zh Sat, 06 Jun 2026 03:56:09 +0800 http://ir-heat-ultra.com/zh/posts/vacuum-compatible-infrared-heater/ Sat, 06 Jun 2026 03:56:09 +0800 http://ir-heat-ultra.com/zh/posts/vacuum-compatible-infrared-heater/ <p><img src="http://ir-heat-ultra.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="真空兼容红外加热器"></p> <p>在线上，晶圆从旋涂机出来后，光刻胶需要迅速固化——且不能有任何冷热不均的区域。软烘或硬烘时温度偏差几度，就会面临残余溶剂、图形塌陷和良率下降的问题。加热器必须提供可重复的温度控制，防止颗粒进入，并在真空环境下保持稳定，同时不干扰腔室内环境。</p>