http://ir-heat-ultra.com/zh/tags/%E5%BE%AE%E6%9C%BA%E7%94%B5%E7%B3%BB%E7%BB%9F/ Recent content in 微机电系统 on Ultra-Performance IR Heating Hugo zh Mon, 27 Jul 2026 06:18:03 +0800 http://ir-heat-ultra.com/zh/posts/reducing-carbon-footprint-in-mems-wafer-drying-via-infrared-heating-systems/ Mon, 27 Jul 2026 06:18:03 +0800 http://ir-heat-ultra.com/zh/posts/reducing-carbon-footprint-in-mems-wafer-drying-via-infrared-heating-systems/ <p><img src="http://ir-heat-ultra.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="MEMS传感器晶圆干燥加热器"></p> <h1 id="更好的mems晶圆干燥方法">更好的MEMS晶圆干燥方法</h1> <p>说实话，干燥MEMS传感器晶圆其实是一件很麻烦的事。必须去除其中的湿气，但同时不能留下任何残留物，而且也不能让材料因温度剧烈变化而受到损伤。长期以来，人们只能将晶圆放入对流式烤箱中试图让它们干燥。但实际上，有更高效的方法。</p>