半导体加热器用热电偶

在红外加热系统中准确控制温度 如果我们真想减少半导体制造过程中的碳排放，就必须杜绝能源的浪费。因此，我们开始使用红外加热灯，而非传统的电阻式烤箱。其原理很简单：红外加热灯能够直接将热量传递到晶圆上。 但问题在于，如果温度控制不精确的话，所有“环保”的好处都会化为乌有。这时，热电偶就显得非常重要了。...