مقدمه
ما دستگاههای خشککن ویفر برای خطوط تولید نیمههادی ساخت میکنیم؛ همچنین از رقابت با برندهای بزرگ بینالمللی در شرایط واقعی نمیترسیم. این یک چالش فنی واقعی است که از اعتماد به تواناییهای ما در ساخت دستگاهها نشأت گرفته است. ما این دستگاهها را طوری طراحی کردهایم که عملکرد پایداری داشته باشند؛ یعنی دمای مناسب، کنترل دقیق، و عملکرد قابل اطمینان در شرایط دشوار.
توان، ولتاژ و اندازه – توضیحات ساده
خشککردن ویفر نیازمند تولید گرمای زیاد در فضای کوچکی است؛ بنابراین ما سیستم گرمایشی خود را بر اساس سیستم الکتریکی ۴۰۰ ولتی طراحی کردهایم. چرا؟ چون این روش به ما امکان میدهد تا توان لازم را تأمین کنیم، بدون اینکه جریان الکتریکی از حد مجاز فراتر رود. این انتخاب ولتاژ باعث کاهش اتلاف انرژی و پایداری عملکرد دستگاه میشود؛ حتی در شرایط تولید طولانیمدت. اندازه دستگاه نیز مطابق استانداردها است؛ یعنی طول لوله ۳۰۰ میلیمتر است، بنابراین میتواند به راحتی در محفظههای موجود قرار گیرد. توان دستگاه نیز به گونهای تنظیم شده که مواد محلولکننده را به سرعت از بین ببرد، بدون اینکه دما از حد مجاز فراتر رود. این امر باعث میشود زمان تولید کاهش یابد.
مواد مورد استفاده: چرا این مواد را انتخاب کردیم
ما عناصر هالوژن را درون پوشش کوارتزی قرار دادیم. کوارتز میتواند گرمای شدید را تحمل کند؛ همچنین شفاف باقی میماند، که این امر باعث انتقال گرما یکنواخت میشود. چرخه هالوژن نیز باعث پایداری رشتههای الکتریکی میشود؛ بنابراین تولید گرما ثابت میماند. این موضوع در خشککردن ویفرهای حساس بسیار مهم است. برای اتصالات، از کانکتور R7s استفاده کردهایم؛ این کانکتور ساده، محکم است و اتصال پایداری فراهم میکند. نصب آن نیز سریع است؛ همچنین از ایجاد نقاط گرم در اتصالات جلوگیری میکند. این کانکتور حتی در هنگام تعمیرات نیز پایدار باقی میماند.
عملکرد دستگاه در محیط تولید
در محیط تولید، به دستگاهی نیاز داریم که عملکرد پایداری داشته باشد؛ یعنی بتواند به راحتی روشن شود، کار کند و تکرار شود. این دستگاه دقیقاً همین ویژگیها را دارد. دستگاه به سرعت گرم میشود؛ بنابراین فرآیند تولید به سرعت به دمای مورد نظر میرسد. سیستم کنترل نیز پایدار باقی میماند. نتیجه؟ کاهش تعداد محصولات باکیفیت نامناسب و جریان تولید یکنواختتر و قابل پیشبینیتر.
نکته مهم
چون تراکم گرما بالاست، سیستم خنککردن و جریان هوا نیز باید به خوبی کار کنند. اگر سیستم خنککردن مناسب نباشد، مشکلاتی پیش خواهد آمد. اما اگر زیرساختها مناسب باشند، این دستگاه میتواند دستگاه قابل اعتمادی برای کار روزانه باشد.