نگهداری محیط کلاس ۱۰۰ در حالت تمیز
در محیط کلاس ۱۰۰، پیامدهای ناشی از عدم تمیزی بسیار جدی هستند. یک تکه کوچک پوست یا یک ذره گرد و غبار کافی است تا ویفر شما خراب شود، یا لنزهای با دقت بالا نیز بیفایده شوند.
مشکل اینجاست که اکثر عناصر گرمایشی برای این منظور ساخته نشدهاند؛ آنها در حین گرم شدن و سرد شدن، مقادیر کوچکی از ذرات را آزاد میکنند. برای حل این مشکل، از لامپهای IR ساخته شده از کوارتز با خلوص بالا استفاده میکنیم؛ این لامپها بهطور ویژه برای استفاده در کارخانههای تولیدی ساخته شدهاند.
چرا کوارتز مهم است؟
ما از شیشههای معمولی یا مواد ارزانقیمت استفاده نمیکنیم؛ بلکه از سیلیکا فرآوریشده با خلوص تقریباً صفر استفاده میکنیم.
چرا؟ چون وقتی این لامپها به دمای بالا میرسند، مواد ارزانقیمت اکسیدهای فلزی تولید میکنند؛ این موضوع در حالی که سعی داریم سطح محیط تمیز نگه داریم، مشکلساز است. ما هر لوله را از نظر شیمیایی تمیز میکنیم تا هیچ باقیماندهای روی سطح آن وجود نداشته باشد؛ در نتیجه، منبع گرمایی پایداری خواهیم داشت که همواره تمیز باقی میماند.
توان و گرما
این لامپها به گونهای طراحی شدهاند که بتوانند گرمای زیادی تولید کنند؛ چه از نوع موج کوتاه و چه موج متوسط، ما نسبت توان به طول لامپ را کنترل میکنیم.
استفاده از توان بالا در فضای کوچک، باعث میشود که گرما به سرعت افزایش یابد؛ این موضوع مزیت بزرگی است، زیرا از جذب گرمای بیش از حد توسط تجهیزات اطراف جلوگیری میشود.
اما یک نکته مهم وجود دارد: مراقب منبع تغذیه لامپها باشید؛ این لامپها مقدار زیادی جریان الکتریکی مصرف میکنند. اگر سیستم سیمکشی شما مناسب نباشد، کاهش ولتاژ رخ خواهد داد؛ این امر باعث میشود فرآیند تولید ناهموار شود، و هیچ کس نمیخواهد که قطعه کار نیمهتمام باقی بماند.
نصب لامپها
ما از درپوشهای بسته برای لامپها استفاده میکنیم تا هیچ چیز از داخل لامپ خارج نشود؛ این درپوشها میتوانند جایگزین مناسبی برای اجاقهای حرارتی معمولی باشند.
البته یک مشکل وجود دارد: کوارتز با خلوص بالا کمی شکنندهتر از شیشههای محکم است؛ اگر لامپ را ضربه بزنید یا در حین نصب انبساط حرارتی ناهمواری رخ دهد، لوله میتواند ترک بخورد.
فقط مراقب باشید که براکتهای نصب لامپ به درستی موقعیتگیری شوند؛ اگر فشاری بر روی پوشش کوارتز وارد نشود، هیچ مشکلی پیش نخواهد آمد.