جلوگیری از آلودگی ویفرها، قبل از شروع فرآیند: روشی هوشمندانه برای کار با لامپهای خشککننده
بیایید صادق باشیم: وقتی که لوله کوارتز در حین فرآیند تولید ویفرها پاره میشود، این وضعیت واقعاً فاجعهبار است. شما نه تنها با توقف فرآیند تولید روبرو میشوید، بلکه تکههای شیشهای و گاز هالوژن نیز روی سطوح سیلیکونی وجود دارد. این وضعیت نه تنها آشفته است، بلکه هزینههای زیادی نیز به همراه دارد؛ همچنین باعث مشکلات زیادی میشود.
ما راهی پیدا کردیم تا از وقوع چنین اتفاقاتی جلوگیری کنیم؛ یعنی طراحی لامپها را دوباره در نظر گرفتیم. ما در واقع یک سپر فیزیکی و یک پوسته با بازتابندگی بالا در طراحی لامپها ایجاد کردیم.
راز این روش، در سپر وجود دارد.
بیشتر مردم فکر میکنند که بازتابندهها فقط برای بازتاب تابش مادون قرمز به سمت ویفرها استفاده میشوند؛ البته اینطور است، اما ما از آلومینیوم با کیفیت بالا یا فلزات طلاکاریشده برای ساخت پوسته لامپ استفاده کردیم تا آن را به یک محفظه مناسب برای نگهداری ذرات تبدیل کنیم.
اگر لوله لامپ تحت فشار پاره شود، بازتابندهها ذرات را جذب میکنند؛ این کار از ریختن ذرات روی ویفرها جلوگیری میکند. این روش سادهای است، اما از وقوع فاجعه جلوگیری میکند.
دستیابی به گرمای بیشتر، با فشار کمتر.
ما این بازتابندهها را به گونهای طراحی کردیم که تابش گرما دقیقاً به جایی که لازم است، ارسال شود. با کوچک کردن پرتو نور، میتوان چگالی گرمای بالاتری داشت، بدون اینکه نیاز به افزایش ولتاژ باشد.
نکته خوب این است که این روش فشار کمتری روی دیوارههای لوله وارد میکند؛ در نتیجه فیلامنتها میتوانند مدت زمان بیشتری دوام بیاورند.
البته یک نکته مهم وجود دارد: پوسته بیرونی لامپ بسیار گرم میشود؛ اگر جریان هوا مسدود شود، این گرما میتواند باعث تغییر شکل قطعات لامپ شود. پس حتماً به جریان هوا توجه کنید.
طراحی مناسب برای اتاقهای پاک.
هیچ کس دوست ندارد گرد و غبار را از گوشههای تنگ تمیز کند؛ به همین دلیل ما سطح بازتابندهها را صاف و منحنی در نظر گرفتیم. در این صورت، هیچ فضایی برای پنهان شدن گرد و غبار وجود ندارد. تمیز کردن آنها نیز آسان است؛ همچنین نیازی نیست نگران پاشیده شدن ذرات کربنی در حین فرآیند تولید باشید.
وقتی که این بازتابندهها را به خط تولید متصل میکنید، حتماً مطمئن شوید که آنها در فاصله ۰.۵ میلیمتری یکدیگر قرار دارند. اگر اینطور نباشد، نقاط گرم روی ویفرها ایجاد خواهد شد؛ این امر منجر به خشک شدن ناهموار ویفرها میشود.
اگر تنظیمات را درست انجام دهید، یک فاجعه بالقوه را به یک کار تعمیراتی ساده تبدیل خواهید کرد.