کاهش میزان کربن در فرآیندهای نیمههادی: همه چیز به این بستگی دارد که گرما به کجا میرود.
در کارخانههای تولید نیمههادی، دقت اهمیت بسیار زیادی دارد. اما مدتهاست که ما از گرمکنهای سنتی استفاده میکنیم؛ این گرمکنها در واقع شبیه به گرمکنهای بزرگ عمل میکنند؛ البته آنها ویفر را گرم میکنند، اما در عین حال انرژی زیادی را صرف گرم کردن کل بدنه دستگاه میکنند.
ما در حال تغییر از این روش به روش گرمایش با امواج مادون قرمز هستیم؛ روش سادهای است: میتوانیم هدف را به سرعت به دمای مناسب برسانیم و گرم کردن هوای اطراف آن را متوقف کنیم.
چرا بدنه دستگاه اهمیت دارد؟
شما میتوانید بهترین لامپ گرمایشی را داشته باشید، اما بدون بدنه مناسب، این لامپ بیفایده خواهد بود. ما بدنههای دستگاههایمان را از فولاد ضدزنگ با کیفیت بالا ساختهایم؛ زیرا این فولاد میتواند تغییرات دمایی مداوم را بدون تغییر شکل تحمل کند.
اما موضوع فقط مربوط به مقاومت در برابر فرسودگی نیست؛ بدنه دستگاه در واقع یک آینه است؛ ما منحنی پارابولیک فولاد را به دقت محاسبه میکنیم تا امواج مادون قرمز مستقیماً روی ویفر بتابد.
وقتی گرما به این شکل تمرکز میشود، از اتاق تمیز خارج نمیشود؛ و این همان نکته مهم است: وقتی اتاق خنکتر باقی میماند، سیستم تهویه مجبور نیست برای خنک کردن اتاق تلاش زیادی کند. اینجاست که میزان کربن تولید شده کاهش مییابد.
دیگر نباید انرژی را هدر داد!
امواج مادون قرمز متفاوت هستند؛ این امواج گرمای تابشی هستند؛ به جای گرم کردن هوا و امیدواری به اینکه گرما در نهایت به هدف برسد، امواج مادون قرمز مستقیماً به سمت هدف حرکت میکنند.
ما این سیستمها را طوری طراحی کردهایم که زمان لازم برای گرم شدن دستگاه کاهش یابد؛ هرچه زمان کمتری برای گرم شدن دستگاه لازم باشد، کیلوواتساعت کمتری برای هر ویفر مصرف خواهد شد.
مشکل: مدیریت گرما
البته، یک مشکل وجود دارد؛ ماتریسهای امواج مادون قرمز با چگالی بالا، گرمای شدیدی ایجاد میکنند.
حتی با وجود بدنه فولاد ضدزنگ که بخش بزرگی از انرژی را بازتاب میدهد، قسمت پشتی دستگاه نیز تحت تأثیر گرما قرار میگیرد. نمیتوانید این دستگاهها را در یک قالب قدیمی قرار دهید و امیدوار باشید که همه چیز درست خواهد شد؛ باید سیستمهای خنککننگ دستگاه را بررسی کنید تا بتوانند این بار گرمایی را تحمل کنند.
دقت در ساخت بدنه دستگاه بسیار مهم است؛ اگر بدنه دستگاه با دقت کافی ساخته نشود، نقاط گرم ایجاد خواهد شد؛ و نقاط گرم منجر به گرمای نامتوازن میشود؛ که معمولاً منجر به اخراج ویفرهای خراب میشود.
به همین دلیل، ما بر کیفیت جوشکاری و سطح بدنه دستگاه تأکید زیادی میکنیم؛ این کار باعث میشود بازتاب نور یکنواخت باقی بماند؛ تا شما نگران نباشید که محصولات تولید شده درست خواهند بود یا نه.