अपने स्मार्ट फैब में तापमान को नियंत्रित करना
यदि आप एक स्मार्ट फैब बना रहे हैं, तो आपको पता ही होगा कि पुराने तरह की हीटिंग प्रणालियाँ अब काम नहीं करतीं। आप उच्च-तकनीकी, डेटा-आधारित हीटिंग प्रणालियों का उपयोग नहीं कर सकते। आपको ऐसी प्रणालियों की आवश्यकता है जो वास्तव में काम कर सकें।
यहीं पर इन्फ्रारेड (IR) हीलर्स की भूमिका आती है। यह वेफर को तेजी से तापमान तक पहुँचाने का सबसे तेज तरीका है… इसलिए जब आप तापमान को नियंत्रित करना चाहते हैं, तो यही सबसे अच्छा विकल्प है।
इन्फ्रारेड कैसे काम करता है?
हम छोटी-तरंगदैर्घ्य वाले इन्फ्रारेड एमिटरों का उपयोग करते हैं… क्योंकि ये बिना किसी बाधा के ऊर्जा को वेफर की सतह तक पहुँचाते हैं। कोई मध्यस्थ नहीं है… इसलिए आपको पूरे चैंबर को गर्म करने में समय नहीं लगता… इससे ऊर्जा एवं समय दोनों बचते हैं।
“स्मार्ट” बनाना
जब लोग “डिजिटल एकीकरण” की बात करते हैं, तो यह अक्सर एक विपणन तकनीक लगती है… लेकिन वास्तव में इसका मतलब है ऐसा फीडबैक लूप जो वास्तव में काम करता है।
हम ऐसी प्रणालियाँ बनाते हैं जो आपके PLC कंट्रोलरों से सीधे जुड़ती हैं… ये कंट्रोलर वास्तविक समय में सतह के तापमान की निगरानी करते हैं, एवं SCRs के उपयोग से ऊर्जा को समायोजित करते हैं… परिणाम? आप अपने तापमान को ±1°C के भीतर बनाए रख सकते हैं… यह बहुत ही अच्छा है… क्योंकि आपको वेफरों के विकृत होने या असमान डोपेंट सक्रियण की चिंता नहीं करनी पड़ती… वेफर समतल एवं स्थिर ही रहता है।
इंजीनियरिंग संबंधी समस्याएँ… एवं उनका समाधान
लेकिन यह सब इतना आसान नहीं है… उच्च-घनत्व वाले इन्फ्रारेड एमिटरों से बहुत अधिक ऊष्मा उत्पन्न होती है… यदि आप सावधान न हों, तो यह ऊष्मा आपके फैब के अन्य हिस्सों में भी जा सकती है… यदि आपका कूलिंग सिस्टम इतनी ऊष्मा को सहन न कर पाए, तो आपके तापमान में अस्थिरता आ जाएगी… यह बहुत ही परेशान करने वाला है।
इसे रोकने हेतु, हम कम थर्मल कंडक्टिविटी वाले माउंट्स का उपयोग करते हैं… इससे हीटर एवं फैब के फ्रेम के बीच एक “दीवार” बन जाती है… जिससे ऊष्मा वहीं ही रहती है।
बदलने की आवश्यकता क्यों है?
पुराने रेजिस्टिव हीटरों को इन्फ्रारेड यूनिट्स से बदलने से न केवल कार्य तेज हो जाता है… बल्कि जगह भी बच जाती है… ये वास्तव में “ड्रॉप-इन” विकल्प हैं… आप अपने उपकरणों के वॉर्म-अप समय को 60% तक कम कर सकते हैं… इससे आपके उपकरण कम समय में ही काम करने लगते हैं… किसी भी इंजीनियर के लिए यह बहुत ही अच्छा विकल्प है।