スマートファブで適切な温度を実現するために
もし、インダストリー4.0対応のスマートファブを構築しているのであれば、単純に空気を加熱するという古い方法ではもはや十分ではないことがわかっているはずです。より精密な制御が必要です。そのため、私たちの多くは高効率な赤外線装置を利用しています。これにより、目的の場所だけを直接加熱できるため、部屋全体を温めるためのエネルギーの無駄遣いがありません。
データによる精密な制御
現代の設備では、単にスイッチを入れておくだけでは不十分です。熱をPLCコントローラーとリアルタイムで連携させる必要があります。
赤外線照射装置は、ほぼ瞬時に反応するため、非常に有効です。センサーが変化を検出した瞬間に出力を調整できます。これにより、昔のオーブンでよく見られるような遅延がなくなり、何よりもウェーハが壊れるのを防げます。
半導体加工における注意点
半導体を加工する際には、狭いスペースに大量の熱を供給する必要があります。私は通常、短波長の赤外線照射装置を使用します。これにより、材料の中心部分が適切な温度に達し、表面が焼けることがありません。
しかし、電源には注意が必要です。電源の電圧やワット数は、照射装置の仕様に完全に合致していなければなりません。
問題は、高ワット数の電力を狭い管を通して送ると、熱流量が急上昇することです。もし冷却システムがそれに対応できなければ、照射装置は数分以内に破損してしまいます。これは、作業を台無しにする原因となります。
正確性とメンテナンスのバランス
赤外線を使用すれば、加工対象物だけを加熱できるため、エネルギーコストを削減できます。しかし、これは「設定して忘れる」というわけにはいきません。
高出力のクォーツランプは劣化します。そのため、稼働時間をしっかり監視し、出力が低下する前にランプを交換する必要があります。
最後に、シールドされたケーブルを使用しましょう。そうしないと、EMIによってデータセンサーに影響が出て、誤ったデータが得られてしまいます。配線を適切に整え、PIDループを正しく調整すれば、この装置は workflowにスムーズに組み込まれ、非効率的な従来の加熱装置に取って代わることができます。